آلة طلاء شعاع الإلكترونات المخصصة لفيلم مضاد للانعكاس عالي الدقة (فيلم AR)

• نظام الفراغ: مضخة جزيئية + مضخة جذور + مزيج من المضخات الميكانيكية، جهاز قياس الفراغ، غرفة الفراغ.
• نظام البندقية الإلكترونيةالكاثود (أسلاك التنتالوم / أسلاك التنغستن) ، الأندود، لفاف التركيز، لفاف الانحراف، ماسح الأشعة الإلكترونية.
• نظام تبخير مواد الغشاء:آلية تغذية المواد الغشاء، غطاء واقية ضد الرذاذ.
• رف قطعة العمل ونظام النقل:رف قطعة العمل الكوكبي (التناوب الذاتي + الثورة) ، جهاز التسخين (تسخين الأشعة تحت الحمراء / المقاومة).
• نظام مراقبة سمك الفيلم:مراقب تذبذبات الكريستال الكوارتز (QCM) ، مراقب التداخل البصري.
• جنظام التحكم:شاشة لمسة PLC، برنامج الكمبيوتر العلوي، جهاز تأمين.

مرحلة إعداد الفراغ:أغلق باب غرفة الفراغ، وابدأ نظام الفراغ للانفصال إلى الفراغ النهائي (≤5 × 10−5 Pa) ، وفي نفس الوقت، heat the substrate to the preset temperature (such as 150℃ for glass substrate and 80℃ for resin substrate) through the workpiece rack heating device to remove the water vapor and impurities adsorbed on the substrate surface and enhance the adhesion of the film layer.

مرحلة تبخر مواد الغشاء:يتم تشغيل مسدس الإلكترون بواسطة PLC يتم تسخين الكاثود لتوليد الإلكترونات الحرارية which are then accelerated at the anode (acceleration voltage 10-30kV) and focused by the focusing coil to form a high-energy electron beam that bombards the AR membrane material (such as the first layer of SiO₂) inside the crucibleيتم تحويل الطاقة الحركية لأشعة الإلكترونات إلى طاقة حرارية، مما يتسبب في وصول مادة الغشاء إلى درجة حرارة التبخر (حوالي 1700 درجة مئوية لـ SiO2 وحوالي 2200 درجة مئوية لـ TiO2) ،ثم تبخر إلى جزيئات غازية.

مرحلة ترسب الفيلم:الجزيئات الغازية من مواد الفيلم تنتشر نحو الركيزة في بيئة فراغ ، وتستوعب وتهاجر وتكثف على سطح الركيزة ، وتشكل فيلمًا متواصلًا.يضمن رف قطعة العمل أن الجزيئات الغازية تغطي بشكل متساو على سطح القاعدة من خلال دوران الذات والثورة، وتجنب الانحرافات المحلية في السماكة.

المرحلة النهائية من الطلاء:بعد أن يتم إيداع جميع طبقات الفيلم ، يجب الحفاظ على بيئة فراغ لتبرد لمدة 30 إلى 60 دقيقة (لتجنب الإجهاد الداخلي في طبقات الفيلم بسبب الاختلافات الحرارية المفرطة).ثم إطلاق الغاز ببطء إلى الضغط الطبيعي وإزالة قطعة العملخلال العملية بأكملها the film thickness monitoring system provides real-time feedback on data and dynamically adjusts the electron beam power and evaporation rate to ensure that the refractive index and thickness of each layer of film meet the AR film design requirements (such as achieving a reflectivity of ≤0.5٪ في نطاق الضوء المرئي 400-700nm).

• طبقة الفيلم لديها دقة عالية وتلبي المتطلبات الأساسية لأفلام AR:توحيد سمك الفيلم ≤ ± 2٪ ودقة التحكم في مؤشر الانكسار ± 0.005يدعم تنظيم سمك الفيلم على نطاق نانوي (حد أدنى لسمك التركيب 0.1nm).
• مادة الغشاء لديها توافق قوي وتغطي المواد الرئيسية لأفلام AR:يمكن أن تبخر بشكل مستقر مواد الغشاء المستخدمة عادةً في أفلام AR وتدعم ترسب مواد غشاء مختلفة بالتناوب ،تلبية متطلبات تصميم أفلام AR المركبة متعددة الطبقات.
• درجة عالية من الأتمتة، مناسبة لسيناريوهات الإنتاج الضخم:التحكم الكامل في PLC العملية، دعم تخزين الصيغة والتحويل السريع، زيادة كفاءة الإنتاج بأكثر من 30٪ مقارنة مع آلات الطلاء العامة.
• بيئة الفراغ نظيفة ونوعية طبقة الفيلم مستقرة:درجة الفراغ النهائية مرتفعة (≤5 × 10−5 Pa) ، ومحتوى الغازات المتبقية منخفض ، مما يمكن أن يقلل من الفقاعات والشوائب في طبقة الفيلم.يتم زيادة استقرار منتقلة الضوء للفيلم AR (في بيئة من -40 °C إلى 85 °C) بنسبة 20٪، والضباب ≤0.1٪
• لديها قدرة واسعة على التكيف مع الركيزة وتلبي احتياجات سيناريوهات متعددة:يدعم تحضير أفلام AR على مواد مختلفة مثل الزجاج والراتنج والزفير والمعدن. من خلال ضبط درجة حرارة التسخين ومعدل التبخر،يمكن تحقيق تماسك قوي بين طبقة الفيلم والرصيف.

• وقد حل مشكلة التبخر المستقر لمواد غشاء AR ذات نقطة انصهار عالية (مثل TiO2 و ZrO2) ، وهو معدات التحضير المفضلة لأغشية AR واسعة النطاق متعددة الطبقات.
• دقة واستقرار طبقة الفيلم تتجاوز بكثير تلك التي في آلات طلاء التدفئة المقاومة،تلبية متطلبات فيلم AR للمنتجات البصرية الراقية مثل عدسات الكاميرا وعدسات الليزر.
• كفاءة الإنتاج الضخم والتحكم في التكاليف متفوقة على آلات طلاء البخاخ المغناطيسي ، مما يجعلها مناسبة لسيناريوهات التطبيق على نطاق واسع مثل الإلكترونيات الاستهلاكية ،الطاقة الكهروضوئيةوالسيارات.

1. قطاع الإلكترونيات الاستهلاكية (أكبر سوق تطبيق)
   شاشة شاشة الهاتف المحمول / الجهاز اللوحي / الكمبيوتر ؛ عدسة الكاميرا / عدسة الهاتف المحمول ؛ عدسات أجهزة Smartwatch / VR.
2. مجال الأدوات البصرية
   عدسات المجهر/التلسكوب؛ عدسات معدات الليزر (مثل عدسات ليزر ثاني أكسيد الكربون، عدسات ليزر الألياف).
3. مجال الطاقة الضوئية
   الزجاج الكهروضوئي؛ النظام الشمسي المركز (CSP)
4. مجالات السيارات والفضاء
   الزجاج الأمامي للسيارات / النوافذ ؛ نافذة الطائرة / مرآة الطيران.
5. مجالات خاصة أخرى
   المعدات البصرية الطبية (مثل العدسات الداخلية، المجهر الجراحي) ؛ لوحات العرض (مثل OLED، Mini LED).