|
Máy phủ chân không PVD bay hơi loại súng electron để phủ thấu kính quang học
| Nguồn gốc | Quảng Đông |
| Hàng hiệu | Lion King |
| Chứng nhận | CE |
Máy phủ PVD súng electron
,Máy phủ chân không cho thấu kính
,Máy phủ bay hơi thấu kính quang học
Đóng gói và giao hàng
Lion KingMáy phủ quang học chùm tia điện tử
Tổng quan về công nghệ
Máy phủ quang học chùm tia điện tử là một thiết bị cốt lõi trong lĩnh vực sản xuất quang học chính xác. Nó sử dụng chùm tia điện tử năng lượng cao để làm tan chảy, bay hơi và ion hóa các vật liệu quang học có điểm nóng chảy cao, sau đó lắng đọng các vật liệu bay hơi lên bề mặt của các chất nền để tạo thành các màng quang học siêu mỏng, đồng đều và hiệu suất cao. Các màng này được sử dụng rộng rãi trong các thành phần quang học như màng chống phản xạ, màng phản xạ cao, màng lọc và màng phân cực, rất cần thiết cho các thiết bị trong các ngành như quang học, điện tử, hàng không vũ trụ và chất bán dẫn.
Nguyên tắc làm việc
Tạo môi trường chân không
Toàn bộ quá trình phủ được thực hiện trong buồng chân không cao. Môi trường này phục vụ hai mục đích quan trọng:
Ngăn vật liệu bay hơi phản ứng với không khí hoặc bị phân tán bởi các phân tử khí, đảm bảo độ tinh khiết của màng.
Giảm va chạm giữa các nguyên tử/phân tử bay hơi và các phân tử khí, cho phép hơi đến chất nền một cách trơn tru và tạo thành một màng đặc.
Tạo & Gia tốc chùm tia điện tử
Một súng điện tử tạo ra các electron thông qua phát xạ nhiệt điện. Các electron sau đó được gia tốc bởi một điện trường điện áp cao để có được động năng cao.
Nung nóng & Bay hơi vật liệu mục tiêu
Chùm tia điện tử năng lượng cao được hội tụ bởi một thấu kính từ và hướng vào bề mặt của vật liệu mục tiêu. Động năng của các electron được chuyển đổi thành năng lượng nhiệt khi va chạm với mục tiêu, làm nóng vật liệu nhanh chóng đến nhiệt độ bay hơi của nó (ngay cả đối với các vật liệu có điểm nóng chảy trên 2000°C, chẳng hạn như alumina. Sau đó, vật liệu bay hơi thành hơi mật độ cao bao gồm các nguyên tử, phân tử hoặc ion.
Lắng đọng hơi & Hình thành màng
Các hạt vật liệu bay hơi di chuyển theo đường thẳng trong buồng chân không và được lắng đọng trên bề mặt của chất nền đang quay. Khi các hạt tích tụ, chúng tạo thành một lớp màng mỏng với cấu trúc và tính chất quang học cụ thể.
Giám sát & Kiểm soát tại chỗ
Trong quá trình phủ, một cân bằng vi mô tinh thể thạch anh hoặc hệ thống giám sát quang học được sử dụng để theo dõi thời gian thực độ dày và chỉ số khúc xạ của màng. Hệ thống phản hồi dữ liệu cho bộ phận điều khiển, bộ phận này điều chỉnh các thông số như công suất chùm tia điện tử, nhiệt độ chất nền và tốc độ lắng đọng để đảm bảo màng đáp ứng các yêu cầu thiết kế.
Ưu điểm chính
Hiệu quả bay hơi cao đối với vật liệu có điểm nóng chảy cao
Chùm tia điện tử làm nóng trực tiếp mục tiêu, cho phép bay hơi các vật liệu có điểm nóng chảy > 3000°C.
Độ tinh khiết của màng cao
Môi trường chân không và gia nhiệt không tiếp xúc giảm thiểu tạp chất trong màng.
Kiểm soát độ dày chính xác
Hệ thống giám sát tại chỗ và công suất chùm tia điện tử có thể điều chỉnh cho phép độ chính xác kiểm soát độ dày màng lên đến ±0,1 nm, đáp ứng các yêu cầu của màng quang học nhiều lớp.
Khả năng tương thích vật liệu rộng
Tương thích với oxit, florua kim loại và thậm chí cả gốm, mở rộng phạm vi ứng dụng.
Tốc độ lắng đọng cao
Tốc độ lắng đọng có thể đạt 1–10 nm/s, cải thiện hiệu quả sản xuất cho các thành phần quang học hàng loạt lớn.
Các ngành công nghiệp ứng dụng
Truyền thông quang học
Phủ màng mỏng cho sợi quang và bộ ghép quang, đảm bảo tổn thất tín hiệu thấp trong quá trình truyền ánh sáng.
Điện tử tiêu dùng
Màng chống phản xạ (AR) cho màn hình điện thoại thông minh/máy tính xách tay. Bộ lọc cắt hồng ngoại (IR) cho mô-đun camera.
Hàng không vũ trụ & Quốc phòng
Màng phản xạ cao cho kính thiên văn quang học vệ tinh. Màng quang học chống đóng băng và chống sương mù cho kính chắn gió máy bay.
Chất bán dẫn & Quang điện tử
Màng điện môi cho vi mạch. Lớp phủ màng mỏng cho điốt phát quang.
Liên hệ với chúng tôi bất cứ lúc nào
