Urządzenie do napylania próżniowego PVD z wykorzystaniem działa elektronowego do powlekania soczewek optycznych

pakowanie i dostawa

szczegóły dotyczące opakowania

Folia z tworzywa sztucznego i drewniane pudełko wysokiej jakości eksportowy standardowy pojemnik do pakowania dla maszyny do powlekania próżniowego PVD z wieloma łukami jonowymi CICEL ze stali nierdzewnej

port wysyłki

Guangdong

jednostki sprzedaży

Pojedynczy przedmiot

rozmiar pojedynczego opakowania

80X25X25 cm

pojedyncza waga brutto

10.000 KG

przykłady opakowań

Lion KingMaszyna do powlekania optycznego wiązką elektronów

Przegląd technologii

Maszyna do powlekania optycznego wiązką elektronów jest kluczowym urządzeniem w dziedzinie precyzyjnej produkcji optycznej. Wykorzystuje wysokoenergetyczne wiązki elektronów do topienia, odparowywania i jonizacji materiałów optycznych o wysokiej temperaturze topnienia, a następnie osadza odparowane materiały na powierzchni podłoży w celu utworzenia ultracienkich, jednorodnych i wysokowydajnych folii optycznych. Folie te są szeroko stosowane w komponentach optycznych, takich jak folie antyrefleksyjne, folie wysoko refleksyjne, folie filtracyjne i folie polaryzacyjne, które są niezbędne dla urządzeń w takich branżach, jak optyka, elektronika, lotnictwo i kosmonautyka oraz półprzewodniki.

Zasada działania

Tworzenie środowiska próżniowego

Cały proces powlekania odbywa się w komorze wysokiej próżni. Środowisko to służy dwóm krytycznym celom:

Zapobiega reakcji odparowanego materiału z powietrzem lub rozpraszaniu przez cząsteczki gazu, zapewniając czystość folii.

Redukuje kolizje między odparowanymi atomami/cząsteczkami a cząsteczkami gazu, umożliwiając gładkie dotarcie pary do podłoża i utworzenie gęstej folii.

Generowanie i przyspieszanie wiązki elektronów

Działo elektronowe generuje elektrony poprzez emisję termoelektronową. Elektrony są następnie przyspieszane przez wysokonapięciowe pole elektryczne, aby uzyskać wysoką energię kinetyczną.

Ogrzewanie i odparowywanie materiału docelowego

Wysokoenergetyczna wiązka elektronów jest skupiana przez soczewkę magnetyczną i kierowana na powierzchnię materiału docelowego. Energia kinetyczna elektronów jest zamieniana na energię cieplną po zderzeniu z celem, szybko podgrzewając materiał do temperatury odparowania (nawet dla materiałów o temperaturach topnienia powyżej 2000°C, takich jak tlenek glinu). Materiał następnie paruje w parę o dużej gęstości, składającą się z atomów, cząsteczek lub jonów.

Osadzanie pary i tworzenie folii

Cząsteczki odparowanego materiału poruszają się po linii prostej w komorze próżniowej i osadzają się na powierzchni obracającego się podłoża. W miarę gromadzenia się cząsteczek tworzą one cienką folię o określonej strukturze i właściwościach optycznych.

Monitorowanie i kontrola in-situ

Podczas procesu powlekania do śledzenia w czasie rzeczywistym grubości folii i współczynnika załamania światła stosuje się mikrobalans kwarcowy lub system monitorowania optycznego. System przekazuje dane do jednostki sterującej, która dostosowuje parametry, takie jak moc wiązki elektronów, temperatura podłoża i szybkość osadzania, aby zapewnić zgodność folii z wymaganiami projektowymi.

Kluczowe zalety

Wysoka wydajność odparowywania dla materiałów o wysokiej temperaturze topnienia

Wiązki elektronów bezpośrednio ogrzewają cel, umożliwiając odparowywanie materiałów o temperaturach topnienia > 3000°C.

Wysoka czystość folii

Środowisko próżniowe i bezkontaktowe ogrzewanie minimalizują zanieczyszczenia w folii.

Precyzyjna kontrola grubości

Systemy monitorowania in-situ i regulowana moc wiązki elektronów pozwalają na kontrolę grubości folii z dokładnością do ±0,1 nm, spełniając wymagania wielowarstwowych folii optycznych.

Szeroka kompatybilność materiałowa

Kompatybilny z tlenkami, fluorkami metali, a nawet ceramiką, poszerzając zakres zastosowań.

Wysoka szybkość osadzania

Szybkość osadzania może osiągnąć 1–10 nm/s, poprawiając wydajność produkcji dla dużych partii komponentów optycznych.

Zastosowane branże

Komunikacja optyczna

Powlekanie cienkich folii dla światłowodów i sprzęgaczy optycznych, zapewniając niską stratę sygnału podczas transmisji światła.

Elektronika użytkowa

Folie antyrefleksyjne (AR) do ekranów smartfonów/laptopów. Filtry odcinające podczerwień (IR) do modułów kamer.

Lotnictwo i obrona

Folie wysoko refleksyjne do teleskopów optycznych satelitów. Folie optyczne zapobiegające oblodzeniu i zaparowaniu do szyb samolotów.

Półprzewodniki i optoelektronika

Folie dielektryczne do mikrochipów. Powłoki cienkowarstwowe do diod elektroluminescencyjnych.