Apparecchiatura di rivestimento a evaporazione a fascio di elettroni ad alto vuoto per rivestimenti ottici

Imballaggio e consegna

Dettagli dell' imballaggio

Copertura di pellicola di plastica e scatola di legno contenitore standard di imballaggio per l'esportazione ad alto cubo per la macchina di rivestimento a vuoto PVD multi-arco in acciaio inossidabile CICEL

Porto di spedizione

Provincia di Guangdong

Unità di vendita

Articolo unico

Dimensione del pacchetto unico

80X25X25 cm

Peso lordo singolo

10.000 KG

Esempi di imballaggio

Il Re LeoneMacchina per rivestimento ottico a fascio elettronico

Visualizzazione della tecnologia

La macchina di rivestimento ottico a fascio elettronico è un'attrezzatura di base nel campo della produzione ottica di precisione. Utilizza fasci di elettroni ad alta energia per fondere, evaporare,e materiali ottici ad alto punto di fusione ionizzanti, quindi deposita i materiali vaporizzati sulla superficie dei substrati per formare film ottici ultra-sottili, uniformi e ad alte prestazioni.Questi film sono ampiamente utilizzati in componenti ottici come film antiriflesso, film ad alto riflesso, film filtranti e film polarizzanti, che sono essenziali per dispositivi in settori come l'ottica, l'elettronica, l'aerospaziale e i semiconduttori.

Principio di funzionamento

Creazione di un ambiente a vuoto

L'intero processo di rivestimento si svolge in una camera ad alto vuoto.

Impedisce che il materiale vaporizzato reagisca con l'aria o sia disperso dalle molecole di gas, garantendo la purezza del film.

Riduce la collisione tra atomi/molecole vaporizzati e molecole di gas, permettendo al vapore di raggiungere il substrato senza intoppi e formare un film denso.

Generazione e accelerazione del fascio elettronico

Una pistola elettronica genera elettroni attraverso l'emissione termionica. Gli elettroni vengono quindi accelerati da un campo elettrico ad alta tensione per ottenere un'elevata energia cinetica.

Caldamento e evaporazione del materiale bersaglio

Il fascio di elettroni ad alta energia è focalizzato da una lente magnetica e diretto sulla superficie del materiale bersaglio.L'energia cinetica degli elettroni viene convertita in energia termica al momento della collisione con il bersaglio, riscaldando rapidamente il materiale fino alla sua temperatura di evaporazione (anche per i materiali con punti di fusione superiori a 2000°C, come l'allumina.Il materiale poi si vaporizza in un vapore ad alta densità composto da atomi, molecole, o ioni.

Deposito di vapore e formazione di pellicole

Le particelle di materiale vaporizzato si muovono in linea retta nella camera di vuoto e si depositano sulla superficie del substrato rotante.formano un film sottile con una struttura specifica e proprietà ottiche.

Monitoraggio e controllo in loco

Durante il processo di rivestimento, viene utilizzato un microbilancio di cristalli di quarzo o un sistema di monitoraggio ottico per monitorare in tempo reale lo spessore del film e l'indice di rifrazione.Il sistema restituisce i dati all'unità di controllo, che regola parametri quali potenza del fascio di elettroni, temperatura del substrato e tasso di deposizione per garantire che il film soddisfi i requisiti di progettazione.

Principali vantaggi

Eficienza di evaporazione elevata per materiali ad alto punto di fusione

I raggi di elettroni riscaldano direttamente l' obiettivo, consentendo l' evaporazione di materiali con punti di fusione > 3000 ° C.

Alta purezza del film

L'ambiente vuoto e il riscaldamento senza contatto riducono al minimo le impurità nel film.

Controllo preciso dello spessore

I sistemi di monitoraggio in situ e la potenza regolabile del fascio di elettroni consentono una precisione di controllo dello spessore della pellicola fino a ± 0,1 nm, soddisfacendo i requisiti dei film ottici multilivello.

Large compatibilità del materiale

Compatibile con gli ossidi, i metalli fluorurati e persino la ceramica, ampliando le sue applicazioni.

Alto tasso di deposizione

Le velocità di deposizione possono raggiungere 1 ‰ 10 nm/s, migliorando l'efficienza di produzione per i componenti ottici di grandi lotti.

Industria applicata

Comunicazione ottica

Rivestimento di film sottili per fibre ottiche e accoppiatori ottici, garantendo una bassa perdita di segnale durante la trasmissione della luce.

Elettronica di consumo

Film antiriflesso (AR) per schermi di smartphone/laptop.Filtri di taglio infrarossi (IR) per moduli fotocamera.

Aerospaziale e Difesa

Pellicole ad alto riflesso per telescopi ottici satellitari.Pellicole ottiche anti-ghiaccio e anti-nebbia per parabrezza degli aeromobili.

Semiconduttori e optoelettronica

Film dielettrici per microchip. Rivestimenti a film sottile per diodi emettitori di luce.