電子ビーム電子ビーム蒸発コーティングマシン
電子ビーム蒸発装置
,環状電子ビームコーティング装置
,光電子ビームコーティングシステム
- 環状電子銃システム環状電線 (カソード),アノード,焦点コイル,傾斜コイル.環状カソードは熱い電子を放出し,電場によって加速され,磁場によって焦点と傾斜,精密に水槽内の物質を爆撃します
- バキュームシステム:真空室,機械ポンプ,分子ポンプ/冷凍ポンプ.最終真空は通常10−4〜10−6Paに達し,ガス相衝突と汚染を減らす.
- 蒸発源とピグリブル:水で冷却された銅製のピグビルは,ピグビルの材料の蒸発と反応を防止し,フィルム層の純度を向上させる.多ステーションスイッチと多層フィルム堆積をサポートする.
- 基板段階:水で加熱/冷却され,太陽の周りに/自分の軸で回転して均質な薄膜厚さを確保できます.
- 制御システム:高電圧電源,ビーム制御,フィルム厚さのモニタリング (結晶振動器),真空計と自動化プログラム,パラメータの閉ループ制御を達成する.
- 電子ビーム生成と加速:トロイド線が電化されると,熱い電子を放出し,高エネルギーを得るために5〜10kVの高電圧電場によって加速されます.
- 焦点と偏向:電磁コイルは,電子束を焦点化し,電子束を低圧し,エネルギー密度は106〜107W/cm2に達する.
- 蒸発と堆積:電子束の運動エネルギーは熱エネルギーに変換され 対象物質は蒸発点まで急速に熱され 蒸発しますガス相原子/分子は高真空下で基板に直線で輸送され,均質なフィルムを形成するために凝縮されます..
- プロセスの制御:堆積速度とフィルム厚さのリアルタイムモニタリング,流量と電力のダイナミックな調整,プロセスの安定性を確保します.
- 高エネルギー密度地元の温度は3000~6000°Cに達し,高溶融点の材料,例えばウラン,モリブデン,SiO2を蒸発させることができます.
- 極低汚染:水で冷却されたピグビルは,ピグビルの汚染を軽減し,フィルム層の純度が99.99%を超えることができます.
- 効率と割合:高熱効率,堆積速度0.1-100nm/s,バランス効率とフィルム品質
- 柔軟なプロセス多層スイッチは多層フィルムをサポートする.基板の加熱/回転によりフィルム層のコンパクト性と粘着性が向上する.
- 材料の適応性金属,合金,酸化物,半導体などと互換性があり,特に耐火材料に適しています.
- フィルム層の質は最高です高度な純度,高密度,強い粘着性があり,高精度の光学装置と電子装置の要件を満たします.
- 費用対効果:材料利用率が高く,エネルギー消費が目標材料に集中し,長期的運用コストが低くなります.
- 高度な自動化パラメータは精密に制御され,重複性が良好で,科学研究と大量生産の両方に適しています.
- オプティカルフィルム:反射フィルム (AR),高反射フィルム,フィルター,ビームスプリッター,メガネ,カメラ,レーザー装置,太陽光電池に使用される.
- 半導体およびマイクロ電子:金属電極 (Al,Cu),介電層 (SiO2,Si3N4),センサーフィルム
- 機能性コーティング:装飾フィルム,導電フィルム (ITO),耐腐蝕/耐磨コーティング,航空宇宙,道具,消費者電子機器に用いられる.
- 科学研究と小規模生産大学や研究機関のための材料の準備,またMEMS,生物医学機器などのためのカスタマイズされたフィルム
完全自動制御とEビームコーティング技術を持つ低コストの真空光学コーティングマシン
Low Cost Vacuum E-Beam PVD Machine Optical Coating Machine with Fully Auto Control Product Overview Model: ZD-2150GX Vacuum Optical Coating Machine The optical vacuum coating machine is suitable for coating precision optical films including AR, superhard AR, BBAR film, high reflection film, UV/IR ...
正確なモニタリング、カスタムメイドのチャンバーサイズ、高純度のコーティング材料を備えた光学式電子ビームコーティング機
Optical Electron Beam Coating Machine Advanced vacuum coating equipment providing precise monitoring and adaptability for various optical component coatings with superior performance characteristics. Core Characteristics Compared with conventional resistance heating and small electronic beam coating ...
汎用的な光学コーティングアプリケーションのためのコンパクト高精度電子ビーム蒸発コーティングマシン
Small Electron Beam Evaporation Coating Machines Core Technical Specifications Parameter Category Details Substrate Capacity Max size: Up to 6-inch (150mm); Compatible with 2"/4"/6" wafers/optical components; Min size: 10×10mm Vacuum Performance Ultimate vacuum: ≤ 1×10⁻⁶ Torr (1.3×10⁻⁴ Pa); Pumping ...
オプティカルレンズコーティング機械 電子ビーム真空コーティング 金属レンズコーティング用
warranty 1 Year machine type Spray Booths, Painting Equipment, Pre-treatment Equipment, Conveying Equipment, Drying Oven, Curing oven, Coating Equipment type Coating Production Line voltage 380V or Customizable coating Vacuum Coating core components PLC, Pressure vessel, Gear, Pump, vacuum machine ...
