<
>
Αγγειώδης ηλεκτρονική ακτίνα ηλεκτρονική ακτίνα εξατμιστική μηχανή επίχρισμα προσαρμόστε για τις ανάγκες του πελάτη
Αγγειώδης ηλεκτρονική ακτίνα ηλεκτρονική ακτίνα εξατμιστική μηχανή επίχρισμα προσαρμόστε για τις ανάγκες του πελάτη
Τόπος καταγωγής:Zhaoqing, Γκουανγκντόνγκ
Επωνυμία:Zhongda
Πιστοποίηση:CE
Ελάχιστη ποσότητα παραγγελίας:1
Χρόνος Παράδοσης:45-60 εργάσιμες ημέρες
Λεπτομέρειες προϊόντος
Επισημαίνω:
μηχανή εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων
,εξοπλισμός επίστρωσης κυκλικής δέσμης ηλεκτρονίων
,οπτικό σύστημα επικάλυψης δέσμης ηλεκτρονίων
Coating Substrate:
Μέταλλο, γυαλί, κεραμικό, πλαστικό
Coating Application:
Διακοσμητικό, λειτουργικό, προστατευτικό
Machine Size:
Προσαρμόσιμο
Rotation Stand:
2 σύνολα
Evaporation Material:
Μέταλλο, Κράμα, Οργανικά Υλικά
Cooling System:
Ψύξη νερού
Coating Film Material:
Au, Ag, Al, Cu, SiO2, κ.λπ.
Coating Chamber Size:
Προσαρμοσμένο
Coating Efficiency:
Ψηλά
Deposition Rate:
Γρήγορα
Vacuum Level:
Υψηλό κενό
Coating Size:
Προσαρμόσιμο
Operation Way:
Οθόνη αφής
Coating Temperature:
≤200 ℃
Guarantee Period:
1 έτος
Operation Mode:
Χειροκίνητο/αυτόματο
Coating Deposition Rate:
Ευκανόνιστος
Περιγραφή προϊόντος
Λεπτομερείς προδιαγραφές και χαρακτηριστικά
Ι. Διαρθρωτική σύνθεση
- Συστήματα κυκλικών ηλεκτρονικών πυροβόλων:δακτυλικό νήμα (καθοδίου), άνοδο, εστιαστική σπείρα, σπείρα εκτροπή. Η δακτυλική κάθοδος εκπέμπει θερμά ηλεκτρόνια, τα οποία επιταχύνονται από το ηλεκτρικό πεδίο και εστιαστούν και εκτρέπονται από το μαγνητικό πεδίο,Να βομβαρδίζει με ακρίβεια το υλικό μέσα στο χωνευτήρι.
- Σύστημα κενούΤο τελικό κενό φτάνει συνήθως τα 10−4 έως 10−6 Pa, μειώνοντας τη σύγκρουση και τη μόλυνση των αερίων φάσεων.
- Πηγή εξάτμισης και χωνευτήρας:Χάλκινο χάλυβα ψυγμένο με νερό για την πρόληψη της εξάτμισης και της αντίδρασης των υλικών του χάλυβα και την ενίσχυση της καθαρότητας του στρώματος του φιλμ. Υποστηρίζει τη μετάβαση πολλαπλών σταθμών και την εναπόθεση πολλαπλών στρωμάτων.
- Στάδιο υποστρώματος:Μπορεί να θερμαίνεται/να ψύχεται με νερό και μπορεί να περιστρέφεται γύρω από τον ήλιο/πάνω στον δικό του άξονα για να εξασφαλίζεται ομοιόμορφο πάχος του φιλμ.
- Σύστημα ελέγχου:Υψηλής τάσης τροφοδοσία, έλεγχος δέσμης, παρακολούθηση πάχους ταινίας (κρυστάλλινος ταλαντωτής), μετρητής κενού και πρόγραμμα αυτοματισμού, επιτυγχάνοντας έλεγχο παραμέτρων κλειστού κύκλου.
ΙΙ. Αρχή λειτουργίας
- Παραγωγή και επιτάχυνση δέσμης ηλεκτρονίων:Όταν ένα τοροειδές νήμα ηλεκτροδοτείται, εκπέμπει θερμά ηλεκτρόνια, τα οποία επιταχύνονται από ένα ηλεκτρικό πεδίο υψηλής τάσης 5-10 kV για να επιτευχθεί υψηλή ενέργεια.
- Εστίαση και εκτροπή:Η ηλεκτρομαγνητική σπείρα εστιάζει και αποσβέει την δέσμη ηλεκτρονίων στην επιφάνεια του υλικού στόχου μέσα στο χωνευτήριο, με πυκνότητα ενέργειας που μπορεί να φτάσει τα 106 έως 107 W/cm2.
- Εξάτμιση και εναπόθεση:Η κινητική ενέργεια της δέσμης ηλεκτρονίων μετατρέπεται σε θερμική ενέργεια, και το αντικείμενο-στόχος θερμαίνεται γρήγορα μέχρι το σημείο εξάτμισης και εξατμίζεται.Τα ατόματα/μόρια της αέριας φάσης μεταφέρονται σε ευθεία γραμμή στο υπόστρωμα υπό υψηλό κενό και συμπυκνώνονται για να σχηματίσουν ένα ομοιόμορφο φιλμ.
- Έλεγχος διαδικασίας:Παρακολούθηση σε πραγματικό χρόνο του ρυθμού αποθέματος και του πάχους του φιλμ, δυναμική ρύθμιση του ρεύματος δέσμης και της ισχύος για τη διασφάλιση της σταθερότητας της διαδικασίας.
ΙΙΙ. Βασικά χαρακτηριστικά
- Υψηλή ενεργειακή πυκνότητα:Η τοπική θερμοκρασία μπορεί να φθάσει τους 3000-6000°C και μπορεί να εξατμίσει υλικά υψηλού σημείου τήξης όπως το βολφραμίδιο, το μολυβδένιο και το SiO2.
- Εξαιρετικά χαμηλή ρύπανση:Τα ψυγεία που ψύνονται με νερό μειώνουν τη ρύπανση των ψυγείων και η καθαρότητα του στρώματος του φιλμ μπορεί να φτάσει πάνω από 99,99%.
- Απόδοση και ποσοστό:Υψηλή θερμική απόδοση, ρυθμός εναπόθεσης 0,1-100 nm/s, αποδοτικότητα εξισορρόπησης και ποιότητα φιλμ.
- Ευέλικτη διαδικασία:Η θέρμανση / περιστροφή του υποστρώματος βελτιώνει την συμπαγή και την προσκόλληση του στρώματος φιλμ.
IV. Πλεονεκτήματα
- Ευρεία προσαρμοστικότητα υλικού:Είναι συμβατό με μέταλλα, κράματα, οξείδια, ημιαγωγούς κλπ. και ειδικά κατάλληλο για ανθεκτικά υλικά.
- Η ποιότητα του στρώματος του φιλμ είναι εξαιρετική:υψηλή καθαρότητα, καλή πυκνότητα και ισχυρή προσκόλληση, που πληρούν τις απαιτήσεις των οπτικών και ηλεκτρονικών συσκευών υψηλής ακρίβειας.
- Κόστος-αποτελεσματικότηταΥψηλό ποσοστό χρησιμοποίησης υλικών, κατανάλωση ενέργειας συγκεντρωμένη στα υλικά-στόχους και χαμηλότερα μακροπρόθεσμα λειτουργικά έξοδα.
- Υψηλός βαθμός αυτοματοποίησης:Οι παραμέτροι είναι ακριβώς ελεγχόμενοι με καλή επαναληψιμότητα, γεγονός που το καθιστά κατάλληλο τόσο για επιστημονική έρευνα όσο και για μαζική παραγωγή.
V. Τυπικές εφαρμογές
- Οπτικές ταινίες:ταινίες αντιαντανάκλασης (AR), ταινίες υψηλής αντανάκλασης, φίλτρα, διαχωριστικά δέσμης, που χρησιμοποιούνται σε γυαλιά, κάμερες, συσκευές λέιζερ, φωτοβολταϊκά κύτταρα.
- Ημιαγωγοί και μικροηλεκτρονικά:Μεταλλικά ηλεκτρόδια (Al, Cu), διηλεκτρικά στρώματα (SiO2, Si3N4), φιλμ αισθητήρα.
- Λειτουργικές επικάλυψεις:διακοσμητικές ταινίες, αγωγικές ταινίες (ITO), ανθεκτικές στη διάβρωση/ανθεκτικές στην φθορά επιχρίσεις, που εφαρμόζονται στην αεροδιαστημική βιομηχανία, στα εργαλεία και στα καταναλωτικά ηλεκτρονικά.
- Επιστημονική έρευνα και παραγωγή μικρής κλίμακαςΠροετοιμασία υλικού για πανεπιστήμια και ερευνητικά ιδρύματα, καθώς και προσαρμοσμένες ταινίες για MEMS, βιοϊατρικές συσκευές κλπ.
Μήνυμα για γρήγορη απάντηση
Σχετικά Προϊόντα