<
>
Установка для нанесения покрытий методом электронно-лучевого испарения с кольцевой пушкой, изготавливаемая по индивидуальным требованиям заказчика
Установка для нанесения покрытий методом электронно-лучевого испарения с кольцевой пушкой, изготавливаемая по индивидуальным требованиям заказчика
Место происхождения:Чжаоцин, Гуандун
Название бренда:Zhongda
Сертификация:CE
Минимальное количество заказа:1
Срок поставки:45-60 рабочих дней
Детали продукта
Выделить:
машины для испарения электронного луча
,Кольцевое электронно-лучевое оборудование для нанесения покрытий
,Оптическая система электронно-лучевого нанесения покрытий
Coating Substrate:
Металл, стекло, керамика, пластик
Coating Application:
Декоративный, функциональный, защитный
Machine Size:
Настраиваемый
Rotation Stand:
2 комплекта
Evaporation Material:
Металл, сплав, органические материалы
Cooling System:
Водяной охлаждение
Coating Film Material:
Au, Ag, Al, Cu, SiO2 и т. д.
Coating Chamber Size:
Индивидуальные
Coating Efficiency:
Высокий
Deposition Rate:
Быстрый
Vacuum Level:
Высокий вакуум
Coating Size:
Настраиваемый
Operation Way:
Сенсорный экран
Coating Temperature:
≤200 ℃
Guarantee Period:
1 год
Operation Mode:
Ручное/автоматическое
Coating Deposition Rate:
Регулируемый
Описание продукта
Подробные спецификации и характеристики
I. Структурный состав
- Кольцевая электронная пушка:кольцевая нить (катод), анод, фокусирующая катушка, дефлекторная катушка; кольцевой катод излучает горячие электроны, которые ускоряются электрическим полем и фокусируются и дефлектируются магнитным полем,точно бомбардируя материал внутри тигеля.
- Вакуумная система: вакуумная камера, механический насос, молекулярный насос/криогенный насос.
- Источник испарения и тигиль:Водоохлаждаемый медный тиглитель для предотвращения испарения и реакции тиглительных материалов и повышения чистоты пленочного слоя; Он поддерживает многостанционное переключение и многослойное осаждение пленки.
- Стадия субстрата:Он может нагреваться/охлаждаться водой, и может вращаться вокруг солнца/по своей оси, чтобы обеспечить равномерную толщину пленки.
- Система управления:Высоковольтный источник питания, управление лучом, мониторинг толщины пленки (кристаллический осциллятор), вакуумный габарит и программа автоматизации, обеспечивающая контроль параметров в замкнутом цикле.
II. Принцип работы
- Производство и ускорение электронного пучка:Когда тороидальная нить электрифицируется, она излучает горячие электроны, которые ускоряются 5-10 кВ высоковольтным электрическим полем для достижения высокой энергии.
- Сосредоточение и отклонение:Электромагнитная катушка фокусирует и разряжает электронный луч на поверхности целевого материала внутри тигбиля, с плотностью энергии, которая может достигать 106 до 107 Вт/см2.
- Испарение и осаждение:Кинетическая энергия электронного пучка преобразуется в тепловую энергию, и объект быстро нагревается до точки испарения и испаряется.Атомы/молекулы газовой фазы транспортируются в прямой линии к субстрату под высоким вакуумом и конденсируются, образуя равномерную пленку..
- Контроль процесса:Мониторинг скорости осаждения и толщины пленки в режиме реального времени, динамическое регулирование тока луча и мощности для обеспечения стабильности процесса.
III. Основные особенности
- Высокая плотность энергии:Местная температура может достигать 3000-6000°C, и он может испарять материалы с высокой температурой плавления, такие как вольфрам, молибден и SiO2.
- Очень низкое загрязнение:Водоохлаждаемые тигли уменьшают загрязнение тигров, а чистота слоя пленки может достигать более 99,99%.
- Эффективность и скорость:Высокая тепловая эффективность, скорость осаждения 0,1-100 нм/с, балансирующая эффективность и качество пленки.
- Гибкий процесс:Нагрев/ротация субстрата повышает компактность и адгезию слоя пленки.
IV. Преимущества
- Широкая адаптивность материалов:Совместимы с металлами, сплавами, оксидами, полупроводниками и т.д., особенно подходят для огнеупорных материалов.
- Качество пленки превосходное:высокая чистота, хорошая плотность и сильная адгезия, отвечающие требованиям высокоточных оптических и электронных устройств.
- Экономическая эффективность:Высокий уровень использования материалов, энергопотребление сосредоточено на целевых материалах и более низкие долгосрочные эксплуатационные затраты.
- Высокая степень автоматизации:Параметры точно контролируются с хорошей повторяемостью, что делает его подходящим как для научных исследований, так и для массового производства.
V. Типичные применения
- Оптические пленки:Антиотражательные пленки (AR), высокоотражательные пленки, фильтры, разделители лучей, используемые в очках, камерах, лазерных устройствах, фотоэлектрических элементах.
- Полупроводники и микроэлектроника:Металлические электроды (Al, Cu), диэлектрические слои (SiO2, Si3N4), сенсорные пленки.
- функциональные покрытия:декоративные пленки, проводящие пленки (ITO), коррозионно-устойчивые и износоустойчивые покрытия, применяемые в аэрокосмической промышленности, инструментах и бытовой электронике.
- Научные исследования и мелкомасштабное производство:Подготовка материалов для университетов и научно-исследовательских институтов, а также индивидуальные пленки для MEMS, биомедицинских устройств и т.д.
Сообщение для быстрого ответа
Сопутствующие товары
Машина для низкозатратного вакуумного оптического покрытия с полностью автоматическим управлением и технологией покрытия E-Beam
Low Cost Vacuum E-Beam PVD Machine Optical Coating Machine with Fully Auto Control Product Overview Model: ZD-2150GX Vacuum Optical Coating Machine The optical vacuum coating machine is suitable for coating precision optical films including AR, superhard AR, BBAR film, high reflection film, UV/IR ...
Оптическая электроновая покрывающая машина с точным мониторингом, индивидуальным размером камеры и высокочистыми материалами покрытия
Optical Electron Beam Coating Machine Advanced vacuum coating equipment providing precise monitoring and adaptability for various optical component coatings with superior performance characteristics. Core Characteristics Compared with conventional resistance heating and small electronic beam coating ...
Компактная высокоточная электронная машина для испарения лучей для многофункционального оптического покрытия
Small Electron Beam Evaporation Coating Machines Core Technical Specifications Parameter Category Details Substrate Capacity Max size: Up to 6-inch (150mm); Compatible with 2"/4"/6" wafers/optical components; Min size: 10×10mm Vacuum Performance Ultimate vacuum: ≤ 1×10⁻⁶ Torr (1.3×10⁻⁴ Pa); Pumping ...
Машины для покрытия оптических линз электронными лучами Вакуумные покрытия для покрытия металлических линз
warranty 1 Year machine type Spray Booths, Painting Equipment, Pre-treatment Equipment, Conveying Equipment, Drying Oven, Curing oven, Coating Equipment type Coating Production Line voltage 380V or Customizable coating Vacuum Coating core components PLC, Pressure vessel, Gear, Pump, vacuum machine ...
