<
>
Mesin pelapis evaporasi berkas elektron annular yang disesuaikan untuk kebutuhan pelanggan
Mesin pelapis evaporasi berkas elektron annular yang disesuaikan untuk kebutuhan pelanggan
Tempat Asal:Zhaoqing, Guangdong
Nama Merek:Zhongda
Sertifikasi:CE
Jumlah Pesanan Minimum:1
Waktu Pengiriman:45-60 hari kerja
Detail Produk
Menyoroti:
Mesin penguapan berkas elektron kustom
,Peralatan pelapis berkas elektron annular
,Sistem pelapis berkas elektron optik
Coating Substrate:
Logam, kaca, keramik, plastik
Coating Application:
Dekoratif, fungsional, pelindung
Machine Size:
Dapat disesuaikan
Rotation Stand:
2 set
Evaporation Material:
Logam, Paduan, Bahan Organik
Cooling System:
Pendingin air
Coating Film Material:
Au, Ag, Al, Cu, SiO2, dll.
Coating Chamber Size:
Disesuaikan
Coating Efficiency:
Tinggi
Deposition Rate:
Cepat
Vacuum Level:
Kekosongan tinggi
Coating Size:
Dapat disesuaikan
Operation Way:
Layar sentuh
Coating Temperature:
≤200 ℃
Guarantee Period:
1 tahun
Operation Mode:
Manual/otomatis
Coating Deposition Rate:
Dapat disesuaikan
Deskripsi produk
Spesifikasi & Fitur Detail
I. Komposisi Struktural
- Sistem senjata elektron annular: filamen annular (katoda), anoda, koil pemfokus, koil defleksi; Katoda annular memancarkan elektron panas, yang dipercepat oleh medan listrik dan difokuskan serta didefleksi oleh medan magnet, secara tepat membombardir material di dalam wadah.
- Sistem vakum: ruang vakum, pompa mekanik, pompa molekuler/pompa kriogenik. Vakum tertinggi biasanya mencapai 10⁻⁴ hingga 10⁻⁶ Pa, mengurangi tumbukan fase gas dan kontaminasi.
- Sumber penguapan dan wadah: Wadah tembaga berpendingin air untuk mencegah penguapan dan reaksi material wadah serta meningkatkan kemurnian lapisan film; Mendukung pengalihan multi-stasiun dan deposisi film multi-lapis.
- Tahap substrat: Dapat dipanaskan/didinginkan dengan air, dan dapat berputar mengelilingi matahari/pada porosnya sendiri untuk memastikan ketebalan film yang seragam.
- Sistem kontrol: Catu daya tegangan tinggi, kontrol berkas, pemantauan ketebalan film (osilator kristal), pengukur vakum dan program otomatisasi, mencapai kontrol loop tertutup dari parameter.
Ii. Prinsip Kerja
- Pembangkitan dan percepatan berkas elektron: Ketika filamen toroidal dialiri listrik, ia memancarkan elektron panas, yang dipercepat oleh medan listrik tegangan tinggi 5-10 kV untuk mencapai energi tinggi.
- Pemfokusan dan defleksi: Koil elektromagnetik memfokuskan dan mendefleksikan berkas elektron ke permukaan material target di dalam wadah, dengan kepadatan energi yang dapat mencapai 10⁶ hingga 10⁷ W/cm².
- Penguapan dan deposisi: Energi kinetik berkas elektron diubah menjadi energi termal, dan material target dengan cepat memanas hingga titik penguapan dan menguap. Atom/molekul fase gas diangkut dalam garis lurus ke substrat di bawah vakum tinggi dan mengembun untuk membentuk film yang seragam.
- Kontrol proses: Pemantauan real-time laju deposisi dan ketebalan film, penyesuaian dinamis arus berkas dan daya untuk memastikan stabilitas proses.
Iii. Fitur Inti
- Kepadatan energi tinggi: Suhu lokal dapat mencapai 3000-6000℃, dan dapat menguapkan material titik leleh tinggi seperti tungsten, molibdenum, dan SiO₂.
- Polusi sangat rendah: Wadah berpendingin air mengurangi polusi wadah, dan kemurnian lapisan film dapat mencapai lebih dari 99,99%.
- Efisiensi dan laju: Efisiensi termal tinggi, laju deposisi 0,1-100 nm/s, menyeimbangkan efisiensi dan kualitas film.
- Proses fleksibel: Pengalihan multi-wadah mendukung film multi-lapis. Pemanasan/rotasi substrat meningkatkan kekompakan dan adhesi lapisan film.
Iv. Keuntungan
- Adaptasi material yang luas: Kompatibel dengan logam, paduan, oksida, semikonduktor, dll., terutama cocok untuk material refraktori.
- Kualitas lapisan film sangat baik: kemurnian tinggi, kerapatan yang baik, dan adhesi yang kuat, memenuhi persyaratan perangkat optik dan elektronik presisi tinggi.
- Efektivitas biaya: Tingkat pemanfaatan material yang tinggi, konsumsi energi terkonsentrasi pada material target, dan biaya operasional jangka panjang yang lebih rendah.
- Tingkat otomatisasi yang tinggi: Parameter dapat dikontrol secara presisi dengan pengulangan yang baik, membuatnya cocok untuk penelitian ilmiah dan produksi massal.
V. Aplikasi Khas
- Film optik: film anti-refleksi (AR), film refleksi tinggi, filter, pemisah berkas, digunakan dalam kacamata, kamera, perangkat laser, sel fotovoltaik.
- Semikonduktor dan Mikroelektronika: Elektroda logam (Al, Cu), lapisan dielektrik (SiO₂, Si₃N₄), film sensor.
- Lapisan fungsional: film dekoratif, film konduktif (ITO), lapisan tahan korosi/tahan aus, diterapkan di dirgantara, perkakas, dan elektronik konsumen.
- Penelitian ilmiah dan produksi skala kecil: Persiapan material untuk universitas dan lembaga penelitian, serta film khusus untuk MEMS, perangkat biomedis, dll.
Pesan untuk balasan cepat
Produk Terkait
Low Cost Vacuum Optical Coating Machine dengan kontrol otomatis penuh dan teknologi E-Beam Coating
Low Cost Vacuum E-Beam PVD Machine Optical Coating Machine with Fully Auto Control Product Overview Model: ZD-2150GX Vacuum Optical Coating Machine The optical vacuum coating machine is suitable for coating precision optical films including AR, superhard AR, BBAR film, high reflection film, UV/IR ...
Mesin Lapisan Sinar Elektron Optik dengan Pemantauan yang Tepat, Ukuran Kamar yang Disesuaikan, dan Bahan Lapisan Kemurnian Tinggi
Optical Electron Beam Coating Machine Advanced vacuum coating equipment providing precise monitoring and adaptability for various optical component coatings with superior performance characteristics. Core Characteristics Compared with conventional resistance heating and small electronic beam coating ...
Mesin Lapisan Evaporasi Sinar Elektron Presisi Tinggi yang Kompak untuk Aplikasi Lapisan Optik Serbaguna
Small Electron Beam Evaporation Coating Machines Core Technical Specifications Parameter Category Details Substrate Capacity Max size: Up to 6-inch (150mm); Compatible with 2"/4"/6" wafers/optical components; Min size: 10×10mm Vacuum Performance Ultimate vacuum: ≤ 1×10⁻⁶ Torr (1.3×10⁻⁴ Pa); Pumping ...
Mesin Lapisan Lensa Optik Lapisan vakum sinar elektron untuk Lapisan Lensa Logam
warranty 1 Year machine type Spray Booths, Painting Equipment, Pre-treatment Equipment, Conveying Equipment, Drying Oven, Curing oven, Coating Equipment type Coating Production Line voltage 380V or Customizable coating Vacuum Coating core components PLC, Pressure vessel, Gear, Pump, vacuum machine ...
