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ग्राहक की जरूरतों के लिए अनुकूलित अंगूठी इलेक्ट्रॉन बीम इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण कोटिंग मशीन
ग्राहक की जरूरतों के लिए अनुकूलित अंगूठी इलेक्ट्रॉन बीम इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण कोटिंग मशीन
उत्पत्ति का स्थान:झाओकिंग, गुआंग्डोंग
ब्रांड का नाम:Zhongda
प्रमाणन:CE
न्यूनतम आदेश मात्रा:1
डिलीवरी का समय:45-60 कार्य दिवस
उत्पाद विवरण
प्रमुखता देना:
कस्टम इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण मशीन
,अंगूठी इलेक्ट्रॉन बीम कोटिंग उपकरण
,ऑप्टिकल इलेक्ट्रॉन बीम कोटिंग सिस्टम
Coating Substrate:
धातु, कांच, सिरेमिक, प्लास्टिक
Coating Application:
सजावटी, कार्यात्मक, सुरक्षात्मक
Machine Size:
अनुकूलन
Rotation Stand:
2 सेट
Evaporation Material:
धातु, मिश्र धातु, कार्बनिक पदार्थ
Cooling System:
पानी की मदद से ठंडा करने वाले उपकरण
Coating Film Material:
Au, Ag, Al, Cu, SiO2, आदि।
Coating Chamber Size:
स्वनिर्धारित
Coating Efficiency:
उच्च
Deposition Rate:
तेज़
Vacuum Level:
उच्च वैक्यूम
Coating Size:
अनुकूलन
Operation Way:
टच स्क्रीन
Coating Temperature:
≤200 ℃
Guarantee Period:
1 वर्ष
Operation Mode:
मैनुअल/स्वचालित
Coating Deposition Rate:
एडजस्टेबल
उत्पाद वर्णन
विस्तृत विनिर्देश और विशेषताएं
I. संरचनात्मक संरचना
- अंगूठी इलेक्ट्रॉन बंदूक प्रणाली:घण्टीदार फिलामेंट (कैथोड), एनोड, फोकसिंग कॉइल, डिफ्लेक्शन कॉइल; घण्टीदार कैथोड गर्म इलेक्ट्रॉन उत्सर्जित करता है, जो विद्युत क्षेत्र द्वारा त्वरित और चुंबकीय क्षेत्र द्वारा केंद्रित और डिफ्लेक्टर होते हैं,सटीक रूप से पिघल के अंदर सामग्री बमबारी।
- वैक्यूम प्रणाली: वैक्यूम कक्ष, यांत्रिक पंप, आणविक पंप/क्रिोजेनिक पंप। अंतिम वैक्यूम आमतौर पर 10−4 से 10−6 Pa तक पहुंचता है, जिससे गैस चरण टकराव और संदूषण कम होता है।
- वाष्पीकरण स्रोत और पिघल:जल-कूल्ड तांबे के पिघलने से पिघलने वाली सामग्री के वाष्पीकरण और प्रतिक्रिया को रोकने और फिल्म परत की शुद्धता को बढ़ाने के लिए; यह बहु-स्टेशन स्विचिंग और बहु-परत फिल्म जमाव का समर्थन करता है।
- सब्सट्रेट चरण:इसे पानी से गर्म/ठंडा किया जा सकता है और समान फिल्म मोटाई सुनिश्चित करने के लिए सूर्य के चारों ओर/अपनी धुरी पर घूम सकता है।
- नियंत्रण प्रणाली:उच्च वोल्टेज बिजली आपूर्ति, बीम नियंत्रण, फिल्म मोटाई निगरानी (क्रिस्टल ऑसिलेटर), वैक्यूम गेज और स्वचालन कार्यक्रम, परिमाणों के बंद-लूप नियंत्रण को प्राप्त करना।
कार्य सिद्धांत
- इलेक्ट्रॉन बीम उत्पादन और त्वरणःजब एक टोरोइडल फिलामेंट को विद्युतीकृत किया जाता है, तो यह गर्म इलेक्ट्रॉन उत्सर्जित करता है, जिन्हें उच्च ऊर्जा प्राप्त करने के लिए 5-10 केवी उच्च वोल्टेज विद्युत क्षेत्र द्वारा तेज किया जाता है।
- फोकस और विचलनःविद्युत चुम्बकीय कॉइल इलेक्ट्रोन बीम को ध्रुव के अंदर लक्ष्य सामग्री की सतह पर केंद्रित करती है और उसे कम करती है, जिसका ऊर्जा घनत्व 106 से 107 W/cm2 तक पहुंच सकता है।
- वाष्पीकरण और जमाव:इलेक्ट्रॉन बीम की गतिज ऊर्जा को थर्मल ऊर्जा में परिवर्तित किया जाता है, और लक्ष्य सामग्री तेजी से वाष्पीकरण बिंदु तक गर्म हो जाती है और वाष्पित हो जाती है।गैस चरण के परमाणुओं/अणुओं को उच्च वैक्यूम के तहत सीधे रेखा में सब्सट्रेट पर ले जाया जाता है और एक समान फिल्म बनाने के लिए संघनित किया जाता है.
- प्रक्रिया नियंत्रण:प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए जमाव दर और फिल्म मोटाई, बीम धारा और शक्ति के गतिशील समायोजन की वास्तविक समय निगरानी।
मुख्य विशेषताएं
- उच्च ऊर्जा घनत्व:स्थानीय तापमान 3000-6000°C तक पहुंच सकता है और यह उच्च पिघलने बिंदु वाली सामग्री जैसे वोल्फ्रेम, मोलिब्डेनम और SiO2 को वाष्पित कर सकता है।
- बहुत कम प्रदूषणःपानी से ठंडा क्रिजबल क्रिजबल प्रदूषण को कम करते हैं, और फिल्म परत की शुद्धता 99.99% से अधिक तक पहुंच सकती है।
- दक्षता और दर:उच्च थर्मल दक्षता, जमाव दर 0.1-100 एनएम/एस, संतुलन दक्षता और फिल्म की गुणवत्ता।
- लचीली प्रक्रिया:मल्टी-क्रूसिबल स्विचिंग मल्टी-लेयर फिल्मों का समर्थन करती है। सब्सट्रेट हीटिंग/रोटेशन फिल्म परत की कॉम्पैक्टनेस और आसंजन को बढ़ाता है।
IV. लाभ
- व्यापक सामग्री अनुकूलन क्षमताःधातुओं, मिश्र धातुओं, ऑक्साइड, अर्धचालकों आदि के साथ संगत, विशेष रूप से अग्निरोधक सामग्री के लिए उपयुक्त।
- फिल्म परत की गुणवत्ता उत्कृष्ट हैःउच्च शुद्धता, अच्छा घनत्व और मजबूत आसंजन, उच्च परिशुद्धता ऑप्टिकल और इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों की आवश्यकताओं को पूरा करते हैं।
- लागत-प्रभावीताःउच्च सामग्री उपयोग दर, लक्ष्य सामग्री पर केंद्रित ऊर्जा की खपत और कम दीर्घकालिक संचालन लागत।
- उच्च स्तर का स्वचालनःमापदंडों को सटीक रूप से नियंत्रित किया जा सकता है, अच्छी पुनरावृत्ति के साथ, इसे वैज्ञानिक अनुसंधान और बड़े पैमाने पर उत्पादन दोनों के लिए उपयुक्त बनाता है।
V. विशिष्ट अनुप्रयोग
- ऑप्टिकल फिल्म:प्रतिबिंब विरोधी फिल्म (एआर), उच्च प्रतिबिंबित फिल्म, फिल्टर, बीम स्प्लिटर, कांच, कैमरों, लेजर उपकरणों, फोटोवोल्टिक कोशिकाओं में उपयोग किए जाते हैं।
- अर्धचालक और माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्सःधातु के इलेक्ट्रोड (Al, Cu), डाईलेक्ट्रिक परतें (SiO2, Si3N4), सेंसर फिल्में।
- कार्यात्मक कोटिंग्स:सजावटी फिल्में, प्रवाहकीय फिल्में (ITO), संक्षारण प्रतिरोधी/wear-resistant कोटिंग्स, एयरोस्पेस, उपकरण और उपभोक्ता इलेक्ट्रॉनिक्स में लागू होती हैं।
- वैज्ञानिक अनुसंधान और छोटे पैमाने पर उत्पादन:विश्वविद्यालयों और अनुसंधान संस्थानों के लिए सामग्री की तैयारी, साथ ही एमईएमएस, जैव चिकित्सा उपकरणों आदि के लिए अनुकूलित फिल्में।
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