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Macchina per rivestimento a evaporazione con fascio elettronico anulare personalizzata per le esigenze del cliente
Macchina per rivestimento a evaporazione con fascio elettronico anulare personalizzata per le esigenze del cliente
Luogo d'origine:Zhaoqing, Guangdong
Marchio:Zhongda
Certificazione:CE
Quantità minima di ordine:1
Tempi di consegna:45-60 giorni di lavoro
Dettagli del prodotto
Evidenziare:
macchina di evaporazione del fascio elettronico su misura
,Attrezzatura per rivestimento a fascio elettronico anulare
,Sistema di rivestimento a fascio elettronico ottico
Coating Substrate:
Metallo, vetro, ceramica, plastica
Coating Application:
Decorativo, funzionale, protettivo
Machine Size:
Personalizzabile
Rotation Stand:
2 set
Evaporation Material:
Metallo, lega, materiali organici
Cooling System:
Raffreddamento ad acqua
Coating Film Material:
Au, Ag, Al, Cu, SiO2, ecc.
Coating Chamber Size:
Personalizzato
Coating Efficiency:
Alto
Deposition Rate:
Veloce
Vacuum Level:
Vuoto alto
Coating Size:
Personalizzabile
Operation Way:
Schermo tattile
Coating Temperature:
≤200 ℃
Guarantee Period:
1 anno
Operation Mode:
Manuale/automatico
Coating Deposition Rate:
Regolabile
Descrizione del prodotto
Specifiche e Caratteristiche Dettagliate
I. Composizione strutturale
- Sistema di cannoni elettronici anulari:filamento anulare (catodo), anodo, bobina di focalizzazione, bobina di deflessione; Il catodo anulare emette elettroni caldi, che vengono accelerati dal campo elettrico e focalizzati e deflettori dal campo magnetico, bombardando con precisione il materiale all'interno del crogiolo.
- Sistema di vuoto: camera a vuoto, pompa meccanica, pompa molecolare/pompa criogenica. Il vuoto finale solitamente raggiunge tra 10⁻⁴ e 10⁻⁶ Pa, riducendo la collisione e la contaminazione della fase gassosa.
- Sorgente di evaporazione e crogiolo:Crogiolo di rame raffreddato ad acqua per prevenire l'evaporazione e la reazione dei materiali del crogiolo e migliorare la purezza dello strato di pellicola; Supporta la commutazione multistazione e la deposizione di film multistrato.
- Fase del substrato:Può essere riscaldato/raffreddato dall'acqua e può ruotare attorno al sole/sul proprio asse per garantire uno spessore uniforme del film.
- Sistema di controllo:Alimentazione ad alta tensione, controllo del raggio, monitoraggio dello spessore del film (oscillatore a cristallo), vacuometro e programma di automazione, ottenendo il controllo a circuito chiuso dei parametri.
II. Principio di funzionamento
- Generazione e accelerazione del fascio di elettroni:Quando un filamento toroidale viene elettrificato, emette elettroni caldi, che vengono accelerati da un campo elettrico ad alta tensione di 5-10 kV per ottenere un'elevata energia.
- Messa a fuoco e deflessione:La bobina elettromagnetica focalizza e sgonfia il fascio di elettroni sulla superficie del materiale bersaglio all'interno del crogiolo, con una densità di energia che può raggiungere da 10⁶ a 10⁷ W/cm².
- Evaporazione e deposizione:L'energia cinetica del fascio di elettroni viene convertita in energia termica e il materiale bersaglio si riscalda rapidamente fino al punto di evaporazione e vaporizza. Gli atomi/molecole in fase gassosa vengono trasportati in linea retta al substrato sotto alto vuoto e si condensano per formare una pellicola uniforme.
- Controllo del processo:Monitoraggio in tempo reale del tasso di deposizione e dello spessore del film, regolazione dinamica della corrente e della potenza del fascio per garantire la stabilità del processo.
III. Caratteristiche principali
- Alta densità di energia:La temperatura locale può raggiungere 3.000-6.000 ℃ e può far evaporare materiali ad alto punto di fusione come tungsteno, molibdeno e SiO₂.
- Inquinamento estremamente basso:I crogioli raffreddati ad acqua riducono l'inquinamento del crogiolo e la purezza dello strato di pellicola può raggiungere oltre il 99,99%.
- Efficienza e velocità:Elevata efficienza termica, velocità di deposizione 0,1-100 nm/s, bilanciamento di efficienza e qualità della pellicola.
- Processo flessibile:La commutazione multi-crogiolo supporta pellicole multistrato. Il riscaldamento/rotazione del substrato migliora la compattezza e l'adesione dello strato di pellicola.
Iv. Vantaggi
- Ampia adattabilità dei materiali:Compatibile con metalli, leghe, ossidi, semiconduttori, ecc., particolarmente adatto per materiali refrattari.
- La qualità dello strato di pellicola è eccellente:elevata purezza, buona densità e forte adesione, che soddisfano i requisiti dei dispositivi ottici ed elettronici di alta precisione.
- Rapporto costo-efficacia:Elevato tasso di utilizzo dei materiali, consumo energetico concentrato sui materiali target e costi operativi inferiori a lungo termine.
- Elevato grado di automazione:I parametri sono controllabili con precisione e con buona ripetibilità, rendendolo adatto sia alla ricerca scientifica che alla produzione di massa.
V. Applicazioni tipiche
- Pellicole ottiche:pellicole antiriflesso (AR), pellicole ad alta riflessione, filtri, divisori di fascio, utilizzati in occhiali, fotocamere, dispositivi laser, celle fotovoltaiche.
- Semiconduttori e Microelettronica:Elettrodi metallici (Al, Cu), strati dielettrici (SiO₂, Si₃N₄), pellicole sensore.
- Rivestimenti funzionali:pellicole decorative, pellicole conduttive (ITO), rivestimenti resistenti alla corrosione/resistente all'usura, applicati nel settore aerospaziale, degli utensili e dell'elettronica di consumo.
- Ricerca scientifica e produzione su piccola scala:Preparazione di materiali per università e istituti di ricerca, nonché pellicole personalizzate per MEMS, dispositivi biomedici, ecc.
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