Müşteri ihtiyaçlarına göre özelleştirilmiş halka şeklinde elektron demeti buharlaştırma kaplama makinesi

Menşe Yeri:Zhaoqing, Guangdong

Marka Adı:Zhongda

Sertifikasyon:CE

Minimum Sipariş Miktarı:1

Teslimat süresi:45-60 iş günü

Etiketler:

optik elektron tabancası kaplama ekipmanı

optik vakum kaplama makinesi

elektron tabancalı optik kaplama makinesi

Ürün detayları

Vurgulamak:

özel elektron ışını buharlaştırma makinesi

Halka şeklinde elektron demeti kaplama ekipmanı

Optik elektron demeti kaplama sistemi

Coating Substrate: Metal, cam, seramik, plastik

Coating Application: Dekoratif, işlevsel, koruyucu

Machine Size: Özelleştirilebilir

Rotation Stand: 2 set

Evaporation Material: Metal, Alaşım, Organik Malzemeler

Cooling System: Su soğutma

Coating Film Material: Au, Ag, Al, Cu, SiO2, vb.

Coating Chamber Size: Özelleştirilmiş

Coating Efficiency: Yüksek

Deposition Rate: Hızlı

Vacuum Level: Yüksek vakum

Coating Size: Özelleştirilebilir

Operation Way: Dokunmatik Ekran

Coating Temperature: ≤200 ℃

Guarantee Period: 1 yıl

Operation Mode: Manuel/otomatik

Coating Deposition Rate: Ayarlanabilir

Ürün Açıklaması

Ayrıntılı özellikler ve özellikler

I. Yapısal Kompozisyon

Halkalı elektron tabanca sistemi:Halkalı filament (katot), anot, odaklanma bobini, saptırma bobini; Halkalı katot, elektrik alanı tarafından hızlanan ve manyetik alan tarafından odaklanan ve saptırılan sıcak elektronlar yayar,Tümenin içindeki malzemeyi hassas bir şekilde bombardıman ediyorlar.
Vakum sistemi: vakum odası, mekanik pompa, moleküler pompa / kriyojenik pompa.
Buharlama kaynağı ve havuz:Suyla soğutulmuş bakır havuz, havuz malzemelerinin buharlaşmasını ve reaksiyonunu önlemek ve film katmanının saflığını artırmak için; Çok istasyonlu geçiş ve çok katmanlı film çöküşünü destekler.
Substrat aşaması:Suyla ısıtılabilir/soğutulabilir ve film kalınlığının eşit olmasını sağlamak için güneşin etrafında/kendi ekseni üzerinde dönebilir.
Kontrol sistemi:Yüksek voltajlı güç kaynağı, ışın kontrolü, film kalınlığını izleme (kristal osilatör), vakum ölçümü ve otomasyon programı, parametrelerin kapalı döngü kontrolünü elde eder.

II. Çalışma prensibi

Elektron ışını üretimi ve hızlanması:Bir toroidal filament elektriklendiğinde, yüksek enerji elde etmek için 5-10 kV yüksek voltajlı bir elektrik alanı tarafından hızlanan sıcak elektronlar yayar.
Odaklama ve eğirme:Elektromanyetik sarmal, elektron ışınını, 106 ila 107 W/cm2'ye ulaşabilecek bir enerji yoğunluğu ile, havuzun içindeki hedef malzemenin yüzeyine odaklar ve boşaltır.
Buharlama ve çökme:Elektron ışınının kinetik enerjisi termal enerjiye dönüştürülür ve hedef malzeme hızla buharlaşma noktasına kadar ısınır ve buharlaşır.Gaz fazlı atomlar/moleküller, yüksek vakum altında bir düz çizgide substratın içine taşınır ve tek tip bir film oluşturmak için yoğunlaşırlar..
Süreç kontrolü:Depozisyon hızının ve film kalınlığının gerçek zamanlı izlenmesi, süreç istikrarını sağlamak için ışın akımının ve gücünün dinamik ayarlanması.

Iii. Temel Özellikler

Yüksek enerji yoğunluğu:Yerel sıcaklık 3000-6000 °C'ye ulaşabilir ve volfram, molibden ve SiO2 gibi yüksek erime noktasına sahip malzemeleri buharlaştırabilir.
Çok düşük kirlilik:Suyla soğutulan havuzlar havuz kirliliğini azaltır ve film katmanının saflığı% 99.99'dan fazla olabilir.
Verimlilik ve oran:Yüksek termal verimlilik, çökme hızı 0.1-100 nm/s, dengeleme verimliliği ve film kalitesi.
Esnek süreç:Multi-crucible geçiş, çok katmanlı filmleri destekler. Substrat ısıtma/dönüşümü film katmanın kompaktlığını ve yapışkanlığını arttırır.

IV. Avantajlar

Geniş malzeme uyumluluk:Metaller, alaşımlar, oksitler, yarı iletkenler vb. ile uyumludur, özellikle ateşe dayanıklı malzemeler için uygundur.
Film katman kalitesi mükemmel:yüksek saflık, iyi yoğunluk ve güçlü yapışkanlık, yüksek hassasiyetli optik ve elektronik cihazların gereksinimlerini karşılamaktadır.
Maliyet etkinliği:Yüksek malzeme kullanım oranı, hedef malzemelere yoğunlaştırılmış enerji tüketimi ve daha düşük uzun vadeli işletme maliyetleri.
Yüksek otomatiklik derecesi:Parametreler, iyi tekrarlanabilirlikle hassas bir şekilde kontrol edilebilir, bu da hem bilimsel araştırma hem de seri üretim için uygundur.

V. Tipik Uygulamalar

Optik filmler:Yansıtıma karşı filmler (AR), yüksek yansıtıcı filmler, filtreler, ışın bölücüler, gözlüklerde, kameralarda, lazer cihazlarında, fotovoltaik hücrelerde kullanılır.
Yarım iletkenler ve mikroelektronik:Metal elektrotlar (Al, Cu), dielektrik katmanlar (SiO2, Si3N4), sensör filmleri.
Fonksiyonel kaplamalar:dekoratif filmler, iletken filmler (ITO), korozyona dayanıklı/kulanmaya dayanıklı kaplamalar, havacılık, aletler ve tüketici elektroniklerinde uygulanır.
Bilimsel araştırma ve küçük ölçekli üretim:Üniversiteler ve araştırma enstitüleri için malzeme hazırlaması, ayrıca MEMS, biyomedikal cihazlar vb. için özel filmler.

Hızlı yanıt için mesaj

İlgili Ürünler

Tamamen Otomatik Kontrol ve E-Beam Kaplama Teknolojisi ile Düşük Maliyetli Vakum Optik Kaplama Makinesi

Low Cost Vacuum E-Beam PVD Machine Optical Coating Machine with Fully Auto Control Product Overview Model: ZD-2150GX Vacuum Optical Coating Machine The optical vacuum coating machine is suitable for coating precision optical films including AR, superhard AR, BBAR film, high reflection film, UV/IR ...

Kesin izleme, özel yapılmış oda boyutu ve yüksek saflıkta kaplama malzemeleri ile optik elektron ışını kaplama makinesi

Optical Electron Beam Coating Machine Advanced vacuum coating equipment providing precise monitoring and adaptability for various optical component coatings with superior performance characteristics. Core Characteristics Compared with conventional resistance heating and small electronic beam coating ...

Çok yönlü optik kaplama uygulamaları için kompakt yüksek hassasiyetli elektron ışını buharlaştırma kaplama makinesi

Small Electron Beam Evaporation Coating Machines Core Technical Specifications Parameter Category Details Substrate Capacity Max size: Up to 6-inch (150mm); Compatible with 2"/4"/6" wafers/optical components; Min size: 10×10mm Vacuum Performance Ultimate vacuum: ≤ 1×10⁻⁶ Torr (1.3×10⁻⁴ Pa); Pumping ...

Optik lens kaplama makineleri Metal lens kaplama için elektron ışını vakum kaplama makineleri

warranty 1 Year machine type Spray Booths, Painting Equipment, Pre-treatment Equipment, Conveying Equipment, Drying Oven, Curing oven, Coating Equipment type Coating Production Line voltage 380V or Customizable coating Vacuum Coating core components PLC, Pressure vessel, Gear, Pump, vacuum machine ...