เครื่องเคลือบอิเล็กตรอนรังสีวงกลม เครื่องเคลือบอิเล็กตรอนรังสีระเหย ปรับแต่งตามความต้องการของลูกค้า
เครื่องระบายอิเล็กตรอนแบบสั่งเอง
,อุปกรณ์เคลือบขั้วอิเล็กตรอนแบบวงแหวน
,ระบบเคลือบขั้วอิเล็กตรอนออฟติกส์
- ระบบปืนอิเล็กตรอนวงแหวน: ไส้หลอดวงแหวน (แคโทด), แอโนด, ขดลวดโฟกัส, ขดลวดเบี่ยงเบน; แคโทดวงแหวนปล่อยอิเล็กตรอนร้อน ซึ่งถูกเร่งโดยสนามไฟฟ้า และโฟกัสและเบี่ยงเบนโดยสนามแม่เหล็ก โดยโจมตีวัสดุภายในเบ้าหลอมอย่างแม่นยำ
- ระบบสุญญากาศ: ห้องสุญญากาศ, ปั๊มกลไก, ปั๊มโมเลกุล/ปั๊มไครโอเจนิกส์ สุญญากาศสูงสุดมักจะสูงถึง 10⁻⁴ ถึง 10⁻⁶ Pa ลดการชนกันของเฟสแก๊สและการปนเปื้อน
- แหล่งระเหยและเบ้าหลอม: เบ้าหลอมทองแดงระบายความร้อนด้วยน้ำเพื่อป้องกันการระเหยและปฏิกิริยาของวัสดุเบ้าหลอม และเพิ่มความบริสุทธิ์ของชั้นฟิล์ม รองรับการสลับหลายสถานีและการสะสมฟิล์มหลายชั้น
- แท่นวางพื้นผิว: สามารถให้ความร้อน/ความเย็นด้วยน้ำ และสามารถหมุนรอบดวงอาทิตย์/บนแกนของตัวเองเพื่อให้แน่ใจว่าฟิล์มมีความหนาสม่ำเสมอ
- ระบบควบคุม: แหล่งจ่ายไฟแรงดันสูง, การควบคุมลำแสง, การตรวจสอบความหนาของฟิล์ม (ออสซิลเลเตอร์คริสตัล), เกจสุญญากาศ และโปรแกรมอัตโนมัติ บรรลุการควบคุมพารามิเตอร์แบบวงปิด
- การสร้างและเร่งลำแสงอิเล็กตรอน: เมื่อไส้หลอดวงแหวนมีกระแสไฟฟ้า จะปล่อยอิเล็กตรอนร้อน ซึ่งถูกเร่งโดยสนามไฟฟ้าแรงดันสูง 5-10 kV เพื่อให้ได้พลังงานสูง
- การโฟกัสและการเบี่ยงเบน: ขดลวดแม่เหล็กไฟฟ้าโฟกัสและเบี่ยงเบนลำแสงอิเล็กตรอนไปยังพื้นผิวของวัสดุเป้าหมายภายในเบ้าหลอม โดยมีความหนาแน่นของพลังงานที่สามารถเข้าถึงได้ 10⁶ ถึง 10⁷ W/cm²
- การระเหยและการสะสม: พลังงานจลน์ของลำแสงอิเล็กตรอนจะถูกแปลงเป็นพลังงานความร้อน และวัสดุเป้าหมายจะร้อนขึ้นอย่างรวดเร็วถึงจุดระเหยและระเหย อะตอม/โมเลกุลในเฟสแก๊สจะถูกขนส่งเป็นเส้นตรงไปยังพื้นผิวภายใต้สุญญากาศสูงและควบแน่นเพื่อสร้างฟิล์มที่สม่ำเสมอ
- การควบคุมกระบวนการ: การตรวจสอบอัตราการสะสมและความหนาของฟิล์มแบบเรียลไทม์ การปรับกระแสลำแสงและกำลังไฟแบบไดนามิกเพื่อให้แน่ใจว่ากระบวนการมีความเสถียร
- ความหนาแน่นของพลังงานสูง: อุณหภูมิเฉพาะที่สามารถสูงถึง 3000-6000℃ และสามารถระเหยวัสดุที่มีจุดหลอมเหลวสูง เช่น ทังสเตน โมลิบดีนัม และ SiO₂
- มลพิษต่ำมาก: เบ้าหลอมระบายความร้อนด้วยน้ำช่วยลดมลพิษจากเบ้าหลอม และความบริสุทธิ์ของชั้นฟิล์มสามารถเข้าถึงได้มากกว่า 99.99%
- ประสิทธิภาพและอัตรา: ประสิทธิภาพความร้อนสูง อัตราการสะสม 0.1-100 nm/s สมดุลประสิทธิภาพและคุณภาพของฟิล์ม
- กระบวนการที่ยืดหยุ่น: การสลับเบ้าหลอมหลายตัวรองรับฟิล์มหลายชั้น การให้ความร้อน/การหมุนของพื้นผิวช่วยเพิ่มความกะทัดรัดและการยึดเกาะของชั้นฟิล์ม
- การปรับตัวของวัสดุที่หลากหลาย: เข้ากันได้กับโลหะ โลหะผสม ออกไซด์ สารกึ่งตัวนำ ฯลฯ โดยเฉพาะอย่างยิ่งเหมาะสำหรับวัสดุทนไฟ
- คุณภาพของชั้นฟิล์มยอดเยี่ยม: ความบริสุทธิ์สูง ความหนาแน่นดี และการยึดเกาะที่แข็งแรง ตอบสนองความต้องการของอุปกรณ์ออปติคัลและอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความแม่นยำสูง
- ความคุ้มค่า: อัตราการใช้ประโยชน์จากวัสดุสูง การใช้พลังงานเน้นที่วัสดุเป้าหมาย และต้นทุนการดำเนินงานในระยะยาวที่ต่ำกว่า
- ระบบอัตโนมัติในระดับสูง: พารามิเตอร์สามารถควบคุมได้อย่างแม่นยำด้วยความสามารถในการทำซ้ำที่ดี ทำให้เหมาะสำหรับการวิจัยทางวิทยาศาสตร์และการผลิตจำนวนมาก
- ฟิล์มออปติคัล: ฟิล์มป้องกันการสะท้อน (AR), ฟิล์มสะท้อนแสงสูง, ฟิลเตอร์, ตัวแยกแสง, ใช้ในแว่นตา, กล้อง, อุปกรณ์เลเซอร์, เซลล์สุริยะ
- สารกึ่งตัวนำและไมโครอิเล็กทรอนิกส์: ขั้วไฟฟ้าโลหะ (Al, Cu), ชั้นไดอิเล็กทริก (SiO₂, Si₃N₄), ฟิล์มเซ็นเซอร์
- สารเคลือบผิวแบบฟังก์ชัน: ฟิล์มตกแต่ง, ฟิล์มนำไฟฟ้า (ITO), สารเคลือบป้องกันการกัดกร่อน/ทนต่อการสึกหรอ, ใช้ในอวกาศ, เครื่องมือ และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค
- การวิจัยทางวิทยาศาสตร์และการผลิตขนาดเล็ก: การเตรียมวัสดุสำหรับมหาวิทยาลัยและสถาบันวิจัย รวมถึงฟิล์มที่กำหนดเองสำหรับ MEMS, อุปกรณ์ชีวการแพทย์ ฯลฯ
เครื่องเคลือบออปติคัลสูญญากาศราคาประหยัดพร้อมระบบควบคุมอัตโนมัติเต็มรูปแบบและเทคโนโลยีการเคลือบ E-Beam
Low Cost Vacuum E-Beam PVD Machine Optical Coating Machine with Fully Auto Control Product Overview Model: ZD-2150GX Vacuum Optical Coating Machine The optical vacuum coating machine is suitable for coating precision optical films including AR, superhard AR, BBAR film, high reflection film, UV/IR ...
เครื่องเคลือบลำแสงอิเล็กตรอนแบบออปติคัลพร้อมการตรวจสอบที่แม่นยำ ขนาดห้องสั่งทำพิเศษ และวัสดุเคลือบที่มีความบริสุทธิ์สูง
Optical Electron Beam Coating Machine Advanced vacuum coating equipment providing precise monitoring and adaptability for various optical component coatings with superior performance characteristics. Core Characteristics Compared with conventional resistance heating and small electronic beam coating ...
เครื่องเคลือบอิเล็กตรอนเบย์ระเหยความละเอียดสูงที่คอมแพคต์ สําหรับการใช้งานเคลือบออทติกัลที่หลากหลาย
Small Electron Beam Evaporation Coating Machines Core Technical Specifications Parameter Category Details Substrate Capacity Max size: Up to 6-inch (150mm); Compatible with 2"/4"/6" wafers/optical components; Min size: 10×10mm Vacuum Performance Ultimate vacuum: ≤ 1×10⁻⁶ Torr (1.3×10⁻⁴ Pa); Pumping ...
เครื่องเคลือบเลนส์ออปติกส์ เครื่องเคลือบแสงอิเล็กตรอน เครื่องเคลือบคลุมระยะว่างสําหรับเคลือบเลนส์โลหะ
warranty 1 Year machine type Spray Booths, Painting Equipment, Pre-treatment Equipment, Conveying Equipment, Drying Oven, Curing oven, Coating Equipment type Coating Production Line voltage 380V or Customizable coating Vacuum Coating core components PLC, Pressure vessel, Gear, Pump, vacuum machine ...
