高真空蒸着真空コーティング装置 PLC制御 多層コーティング用
高真空蒸着真空コーティング装置 PLC制御 多層コーティング用
原産地:広東省肇慶市
ブランド名:Zhongda
Model Number:CE
最低注文数量:1
納期:45-60営業日
製品の詳細
ハイライト:
高真空蒸着真空コーティング装置
,PLC制御蒸着真空コーティング装置
,多層コーティング 熱蒸着コーティング装置
Coating:
TiO2、Ti3O5、H4、ZrO2、ZnS、Al2O3、MgF2、SiO2、Au、Ag、Cu、Al、Ti、In、Sn
Chamber Materia:
304 ステンレス鋼
Coating Structure:
単層、多層、勾配など。
Machine Size:
カスタマイズ可能
Vacuum System:
高い
Control System:
ピーシー
Coating Thickness:
調整可能
Structure:
縦型フロントドア構造
Rotational Speed:
10~30RPM(可変)
Coating Environment:
塵がない
Coating Source:
アーク蒸発
Condition:
新しい
Working Theory:
熱蒸発
Vacuumdegree:
1x10^-5 ~ 5x10^-6 トール
Application:
光学コーティング、装飾コーティング、電子部品
Rotation Stand:
2セット
Coating Temperature:
≤200℃
Rotation System:
2セット
Productname:
蒸発真空塗装機
Coating Transparency:
高い
Coating Application:
装飾的、機能的、保護
Weight:
約500kg
Powersupply:
AC220V/380V、50/60Hz
Substratesize:
最大直径600mmまたはカスタマイズ
製品説明
詳細な仕様と特徴
蒸着真空コーティング装置
高度な蒸着技術により、ガラス、PC、PMMA基板に高品質な多層光学膜を製造するために設計された精密真空コーティングシステムです。
主な特徴
- 中央回転基板アンブレラフレームにより、振動と粒子発生を最小限に抑え、安定した動作を実現
- 電極板のない電子ビーム加熱方式により、安定した多層膜形成が可能
- 高精度光学膜を実現する、マルチポイントオンラインモニタリングによる独自の比率制御方法
- 容易なリフト操作が可能な、取り外し可能な基板アンブレラフレーム
- 均一な高イオン電流密度とデュアル電子銃を備えたイオン源により、100層以上のメッキが可能
- ベルジャーまたはプラネタリワークピースラックオプションを備えた完全自動蒸着プロセス
- 特定の顧客要件を満たすためのカスタマイズ可能なコンポーネント構成
システム構成
| 固定システム | シングルまたはスプリット構成の回転アンブレラフレーム |
| 加熱システム | ハロゲンランプ/装甲ヒーター、最高温度350℃ |
| 排気システム | 低真空ポンプセット + 高真空ポンプセット + 極低温ポンプ/Polycold |
| 真空制御 | パニングおよびPirani真空ゲージ付き真空コントローラー |
| コーティングシステム | 電子銃、無酸素銅るつぼ、インピーダンス蒸着源、RF/Kaufman/Hall型イオン源 |
| インフレーションシステム | MFCまたはAPC自動圧力コントローラー |
| 膜厚制御 | 水晶制御または光制御モニタリング |
| 制御システム | PC + PLC統合自動化 |
アプリケーション性能
反射防止(AR)膜コーティング:
- ガラス基板透過率 > 91.5%
- 420-680nm帯域:片面平均透過率 > 95%、反射率 < 0.5%
- 両面平均透過率 > 98%、反射率 < 0.5%
運用上の利点
- より高い生産出力を実現する、向上した成膜速度
- 半導体、光電子工学、フォトニクス用途向けの、高精度処理能力
- 容易なメンテナンス要件を備えた、耐久性のある構造
この蒸着真空コーティング装置は、複数の高度なコンポーネントを組み合わせることで、特定の顧客の生産ニーズを満たしながら、優れた多層膜品質を提供します。
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