| 固定システム | シングルまたはスプリット構成の回転アンブレラフレーム |
| 加熱システム | ハロゲンランプ/装甲ヒーター、最高温度350℃ |
| 排気システム | 低真空ポンプセット + 高真空ポンプセット + 極低温ポンプ/Polycold |
| 真空制御 | パニングおよびPirani真空ゲージ付き真空コントローラー |
| コーティングシステム | 電子銃、無酸素銅るつぼ、インピーダンス蒸着源、RF/Kaufman/Hall型イオン源 |
| インフレーションシステム | MFCまたはAPC自動圧力コントローラー |
| 膜厚制御 | 水晶制御または光制御モニタリング |
| 制御システム | PC + PLC統合自動化 |