| سیستم تثبیت | چترهای چرخش دار با پیکربندی تک یا تقسیم |
| سیستم گرمایش | لامپ هالوجنی/گرمکن زره ای با دمای تا 350°C |
| سیستم خروجی | مجموعه پمپ خلاء کم + مجموعه پمپ خلاء بالا + پمپ کریوجنیک/پولی کولد |
| کنترل خلاء | کنترل کننده خلاء با اندازه گیری خلاء Panning و Pirani |
| سیستم پوشش | تفنگ الکترونی، سنگ شکن مس بدون اکسیژن، منبع تبخیر مقاومت، منبع یون نوع RF/Kaufman/Hall |
| سیستم تورم | کنترل کننده فشار خودکار MFC یا APC |
| کنترل ضخامت فیلم | نظارت با کنترل کریستال یا کنترل نور |
| سیستم کنترل | اتوماسیون یکپارچه PC + PLC |
در هر زمان با ما تماس بگیرید