| Sistema de Fixação | Estruturas de guarda-chuva rotativas com configuração única ou dividida |
| Sistema de Aquecimento | Lâmpada halógena/aquecedor blindado com temperatura de até 350℃ |
| Sistema de Exaustão | Conjunto de bomba de baixo vácuo + conjunto de bomba de alto vácuo + bomba criogênica/Polycold |
| Controle de Vácuo | Controlador de vácuo com medidores de vácuo Panning e Pirani |
| Sistema de Revestimento | Pistola de elétrons, cadinho de cobre livre de oxigênio, fonte de evaporação de impedância, fonte de íons tipo RF/Kaufman/Hall |
| Sistema de Inflação | Controlador de pressão automático MFC ou APC |
| Controle de Espessura do Filme | Monitoramento controlado por cristal ou controlado por luz |
| Sistema de Controle | Automação integrada PC + PLC |
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