| Sistem perlengkapan | Kerangka payung berputar dengan konfigurasi tunggal atau split |
| Sistem Pemanasan | Lampu halogen/pemanas lapis baja dengan suhu hingga 350°C |
| Sistem knalpot | Set pompa vakum rendah + set pompa vakum tinggi + pompa kriogenik/Polycold |
| Kontrol vakum | Pengontrol vakum dengan pengukur vakum Panning dan Pirani |
| Sistem Lapisan | Pistol elektron, crevice tembaga bebas oksigen, sumber penguapan impedansi, sumber ion tipe RF/Kaufman/Hall |
| Sistem Inflasi | Kontroler tekanan otomatis MFC atau APC |
| Kontrol Ketebalan Film | Pemantauan kontrol kristal atau kontrol cahaya |
| Sistem kontrol | PC + PLC otomatisasi terintegrasi |
Hubungi kami kapan saja