| نظام الأثاث | إطارات مظلات دوارة ذات تكوين واحد أو منقسم |
| نظام التدفئة | مصباح الهالوجين/سخان مدرع بدرجة حرارة تصل إلى 350 درجة مئوية |
| نظام العادم | مجموعة مضخات الفراغ المنخفض + مجموعة مضخات الفراغ العالي + مضخة كريوجينية / Polycold |
| تحكم الفراغ | جهاز تحكم الفراغ مع مقاييس الفراغ من بانينغ وبيراني |
| نظام الطلاء | مسدس الإلكترونات، صهريج النحاس الخالي من الأكسجين، مصدر تبخير المعوقة، RF/Kaufman/Hall type ion source |
| نظام التضخم | جهاز تحكم ضغط أوتوماتيكي (MFC) أو (APC) |
| تحكم سمك الفيلم | مراقبة مدفوعة بالكريستال أو مدفوعة بالضوء |
| نظام التحكم | الأتمتة المتكاملة PC + PLC |
اتصل بنا في أي وقت