| Sistema di fissaggio | Telai a ombrello rotanti con configurazione singola o divisa |
| Sistema di riscaldamento | Lampada alogena/riscaldatore corazzato con temperatura fino a 350℃ |
| Sistema di scarico | Set di pompe a basso vuoto + set di pompe ad alto vuoto + pompa criogenica/Polycold |
| Controllo del vuoto | Controller del vuoto con manometri Panning e Pirani |
| Sistema di rivestimento | Cannone elettronico, crogiolo in rame privo di ossigeno, sorgente di evaporazione a impedenza, sorgente ionica di tipo RF/Kaufman/Hall |
| Sistema di gonfiaggio | Controller automatico della pressione MFC o APC |
| Controllo dello spessore del film | Monitoraggio controllato da cristallo o controllato dalla luce |
| Sistema di controllo | Automazione integrata PC + PLC |
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