| Système de fixation | Cadres parapluie rotatifs avec configuration simple ou divisée |
| Système de chauffage | Lampe halogène/chauffage blindé avec une température allant jusqu'à 350℃ |
| Système d'échappement | Ensemble de pompes à vide basse + ensemble de pompes à vide haute + pompe cryogénique/Polycold |
| Contrôle du vide | Contrôleur de vide avec jauges de vide Panning et Pirani |
| Système de revêtement | Canon à électrons, creuset en cuivre sans oxygène, source d'évaporation à impédance, source d'ions de type RF/Kaufman/Hall |
| Système de gonflage | Contrôleur de pression automatique MFC ou APC |
| Contrôle de l'épaisseur du film | Surveillance contrôlée par cristal ou contrôlée par la lumière |
| Système de contrôle | Automatisation intégrée PC + PLC |
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