| Bevestigingssysteem | met een gewicht van niet meer dan 50 kg |
| Verwarmingssysteem | Halogeenlamp/verwarmingsapparaat met een temperatuur tot 350°C |
| Afvoerstelsel | Gebruik van een laag vacuümpomp + een hoge vacuümpomp + een cryogene pomp/Polycold |
| Vacuümcontrole | Vacuümcontroller met Panning- en Pirani-vacuümmeters |
| Beschermingssysteem | Elektronenpistool, zuurstofvrije koperen smeltkroes, impedantiedampingsbron, RF/Kaufman/Hall-type ionenbron |
| Inflatiesysteem | Automatische MFC- of APC-drukregelaar |
| Beheersing van de filmdikte | Bewaking met kristal of licht |
| Controlesysteem | PC + PLC geïntegreerde automatisering |
Neem op elk moment contact met ons op.