| Fikstür Sistemi | Tek veya bölünmüş konfigürasyona sahip dönen şemsiye çerçeveleri |
| Isıtma Sistemi | 350℃'ye kadar sıcaklığa sahip halojen lamba/zırhlı ısıtıcı |
| Egzoz Sistemi | Düşük vakum pompası seti + yüksek vakum pompası seti + kriyojenik pompa/Polycold |
| Vakum Kontrolü | Panning ve Pirani vakum göstergeli vakum kontrol cihazı |
| Kaplama Sistemi | Elektron tabancası, oksijensiz bakır pota, empedans buharlaşma kaynağı, RF/Kaufman/Hall tipi iyon kaynağı |
| Şişirme Sistemi | MFC veya APC otomatik basınç kontrol cihazı |
| Film Kalınlığı Kontrolü | Kristal kontrollü veya ışık kontrollü izleme |
| Kontrol Sistemi | PC + PLC entegre otomasyon |
Herhangi bir zamanda bizimle iletişime geçin