| Hệ Thống Cố Định | Khung ô quay với cấu hình đơn hoặc chia |
| Hệ Thống Sưởi | Đèn halogen/bộ gia nhiệt bọc thép với nhiệt độ lên đến 350℃ |
| Hệ Thống Xả | Bộ bơm chân không thấp + bộ bơm chân không cao + bơm lạnh/Polycold |
| Kiểm Soát Chân Không | Bộ điều khiển chân không với đồng hồ đo chân không Panning và Pirani |
| Hệ Thống Phủ | Súng electron, chén nung đồng không oxy, nguồn bốc hơi trở kháng, nguồn ion loại RF/Kaufman/Hall |
| Hệ Thống Bơm | Bộ điều khiển áp suất tự động MFC hoặc APC |
| Kiểm Soát Độ Dày Màng | Giám sát bằng tinh thể hoặc điều khiển bằng ánh sáng |
| Hệ Thống Điều Khiển | Tự động hóa tích hợp PC + PLC |
Liên hệ với chúng tôi bất cứ lúc nào