Guangdong Zhongda Vacuum Equipment Co., Ltd.
+8613751829733

Высоковакуумная система испарения Вакуумная покрывающая машина с управлением PLC для многослойного покрытия

Высоковакуумная система испарения Вакуумная покрывающая машина с управлением PLC для многослойного покрытия
Место происхождения:Чжаоцин, Гуандун
Название бренда:Zhongda
Model Number:CE
Минимальное количество заказа:1
Срок поставки:45-60 рабочих дней
Детали продукта
Выделить:

Машина для вакуумного покрытия с высокой вакуумной системой испарения

,

Машина для вакуумного покрытия испарения с управлением ПЛЦ

,

Многослойная покрывающая тепловая испаряющая покрывающая машина

Coating: TiO2,Ti3O5, H4, ZrO2, ZnS, Al2O3, MgF2, SiO2, Au, Ag, Cu, Al, Ti, In, Sn
Chamber Materia: Нержавеющая сталь 304
Coating Structure: Одиночный слой, многослойный, градиент и т. Д.
Machine Size: Настраиваемый
Vacuum System: Высокий
Control System: ООО
Coating Thickness: Регулируемый
Structure: Вертикальная конструкция входной двери
Rotational Speed: От 10 до 30 об/мин (переменная)
Coating Environment: Без пыли
Coating Source: Дуговое испарение
Condition: Новый
Working Theory: Тепловое испарение
Vacuumdegree: от 1x10^-5 до 5x10^-6 Торр
Application: Оптические покрытия, Декоративные покрытия, Электронные компоненты
Rotation Stand: 2 комплекта
Coating Temperature: ≤200 ℃
Rotation System: 2 комплекта
Productname: Машина для вакуумного покрытия испарением
Coating Transparency: Высокий
Coating Application: Декоративный, функциональный, защитный
Weight: Около 500 кг
Powersupply: 220/380 В переменного тока, 50/60 Гц
Substratesize: Диаметр до 600 мм или по индивидуальному заказу.
Описание продукта
Подробные спецификации и характеристики
Вакуумная установка для испарительного напыления
Прецизионная вакуумная система напыления, предназначенная для производства высококачественных многослойных оптических пленок на стеклянных, поликарбонатных и PMMA подложках с использованием передовой технологии испарения.
Основные характеристики
  • Центральная вращающаяся рама-зонтик для подложек минимизирует вибрацию и образование частиц для стабильной работы
  • Метод электронно-лучевого нагрева без электродных пластин обеспечивает стабильное формирование многослойных пленок
  • Запатентованный метод контроля соотношения с многоточечным онлайн-мониторингом для высокоточных оптических пленок
  • Съемная рама-зонтик для подложек с простым подъемом
  • Ионный источник с равномерной высокой плотностью ионного тока и двумя электронными пушками для нанесения более 100 слоев
  • Полностью автоматизированный процесс испарения с опциями колокола или планетарной стойки для заготовок
  • Настраиваемая конфигурация компонентов для удовлетворения конкретных требований заказчика
Конфигурация системы
Система крепления Вращающиеся рамы-зонтики с одинарной или раздельной конфигурацией
Система нагрева Галогенная лампа/бронированный нагреватель с температурой до 350℃
Система выхлопа Набор вакуумных насосов низкого вакуума + набор вакуумных насосов высокого вакуума + криогенный насос/Polycold
Контроль вакуума Контроллер вакуума с вакуумметрами Panning и Pirani
Система напыления Электронная пушка, бескислородный медный тигель, источник испарения с импедансом, ионный источник RF/Kaufman/Hall
Система нагнетания Автоматический регулятор давления MFC или APC
Контроль толщины пленки Контроль с помощью кристалла или света
Система управления Интегрированная автоматизация ПК + ПЛК
Производительность применения
Покрытие антиотражающей (AR) пленкой:
  • Пропускание через стеклянную подложку > 91,5%
  • Диапазон 420-680 нм: среднее пропускание с одной стороны > 95%, отражение < 0,5%
  • Среднее пропускание с обеих сторон > 98%, отражение < 0,5%
Эксплуатационные преимущества
  • Увеличенная скорость осаждения для повышения производительности
  • Высокоточные технологические возможности для полупроводниковых, оптоэлектронных и фотонных применений
  • Прочная конструкция с простыми требованиями к техническому обслуживанию
Эта вакуумная установка для испарительного напыления сочетает в себе несколько передовых компонентов для обеспечения превосходного качества многослойных пленок, удовлетворяя при этом конкретные производственные потребности заказчика.
Сообщение для быстрого ответа
Сопутствующие товары