Высоковакуумная система испарения Вакуумная покрывающая машина с управлением PLC для многослойного покрытия
Высоковакуумная система испарения Вакуумная покрывающая машина с управлением PLC для многослойного покрытия
Место происхождения:Чжаоцин, Гуандун
Название бренда:Zhongda
Model Number:CE
Минимальное количество заказа:1
Срок поставки:45-60 рабочих дней
Детали продукта
Выделить:
Машина для вакуумного покрытия с высокой вакуумной системой испарения
,Машина для вакуумного покрытия испарения с управлением ПЛЦ
,Многослойная покрывающая тепловая испаряющая покрывающая машина
Coating:
TiO2,Ti3O5, H4, ZrO2, ZnS, Al2O3, MgF2, SiO2, Au, Ag, Cu, Al, Ti, In, Sn
Chamber Materia:
Нержавеющая сталь 304
Coating Structure:
Одиночный слой, многослойный, градиент и т. Д.
Machine Size:
Настраиваемый
Vacuum System:
Высокий
Control System:
ООО
Coating Thickness:
Регулируемый
Structure:
Вертикальная конструкция входной двери
Rotational Speed:
От 10 до 30 об/мин (переменная)
Coating Environment:
Без пыли
Coating Source:
Дуговое испарение
Condition:
Новый
Working Theory:
Тепловое испарение
Vacuumdegree:
от 1x10^-5 до 5x10^-6 Торр
Application:
Оптические покрытия, Декоративные покрытия, Электронные компоненты
Rotation Stand:
2 комплекта
Coating Temperature:
≤200 ℃
Rotation System:
2 комплекта
Productname:
Машина для вакуумного покрытия испарением
Coating Transparency:
Высокий
Coating Application:
Декоративный, функциональный, защитный
Weight:
Около 500 кг
Powersupply:
220/380 В переменного тока, 50/60 Гц
Substratesize:
Диаметр до 600 мм или по индивидуальному заказу.
Описание продукта
Подробные спецификации и характеристики
Вакуумная установка для испарительного напыления
Прецизионная вакуумная система напыления, предназначенная для производства высококачественных многослойных оптических пленок на стеклянных, поликарбонатных и PMMA подложках с использованием передовой технологии испарения.
Основные характеристики
- Центральная вращающаяся рама-зонтик для подложек минимизирует вибрацию и образование частиц для стабильной работы
- Метод электронно-лучевого нагрева без электродных пластин обеспечивает стабильное формирование многослойных пленок
- Запатентованный метод контроля соотношения с многоточечным онлайн-мониторингом для высокоточных оптических пленок
- Съемная рама-зонтик для подложек с простым подъемом
- Ионный источник с равномерной высокой плотностью ионного тока и двумя электронными пушками для нанесения более 100 слоев
- Полностью автоматизированный процесс испарения с опциями колокола или планетарной стойки для заготовок
- Настраиваемая конфигурация компонентов для удовлетворения конкретных требований заказчика
Конфигурация системы
| Система крепления | Вращающиеся рамы-зонтики с одинарной или раздельной конфигурацией |
| Система нагрева | Галогенная лампа/бронированный нагреватель с температурой до 350℃ |
| Система выхлопа | Набор вакуумных насосов низкого вакуума + набор вакуумных насосов высокого вакуума + криогенный насос/Polycold |
| Контроль вакуума | Контроллер вакуума с вакуумметрами Panning и Pirani |
| Система напыления | Электронная пушка, бескислородный медный тигель, источник испарения с импедансом, ионный источник RF/Kaufman/Hall |
| Система нагнетания | Автоматический регулятор давления MFC или APC |
| Контроль толщины пленки | Контроль с помощью кристалла или света |
| Система управления | Интегрированная автоматизация ПК + ПЛК |
Производительность применения
Покрытие антиотражающей (AR) пленкой:
- Пропускание через стеклянную подложку > 91,5%
- Диапазон 420-680 нм: среднее пропускание с одной стороны > 95%, отражение < 0,5%
- Среднее пропускание с обеих сторон > 98%, отражение < 0,5%
Эксплуатационные преимущества
- Увеличенная скорость осаждения для повышения производительности
- Высокоточные технологические возможности для полупроводниковых, оптоэлектронных и фотонных применений
- Прочная конструкция с простыми требованиями к техническому обслуживанию
Эта вакуумная установка для испарительного напыления сочетает в себе несколько передовых компонентов для обеспечения превосходного качества многослойных пленок, удовлетворяя при этом конкретные производственные потребности заказчика.
Сообщение для быстрого ответа
Сопутствующие товары