| Система крепления | Вращающиеся рамы-зонтики с одинарной или раздельной конфигурацией |
| Система нагрева | Галогенная лампа/бронированный нагреватель с температурой до 350℃ |
| Система выхлопа | Набор вакуумных насосов низкого вакуума + набор вакуумных насосов высокого вакуума + криогенный насос/Polycold |
| Контроль вакуума | Контроллер вакуума с вакуумметрами Panning и Pirani |
| Система напыления | Электронная пушка, бескислородный медный тигель, источник испарения с импедансом, ионный источник RF/Kaufman/Hall |
| Система нагнетания | Автоматический регулятор давления MFC или APC |
| Контроль толщины пленки | Контроль с помощью кристалла или света |
| Система управления | Интегрированная автоматизация ПК + ПЛК |
СОТРАНИВАЙСЯ С НАМИ в любое время