| Vorrichtungssystem | Rotierende Schirmrahmen mit Einzel- oder Split-Konfiguration |
| Heizsystem | Halogenlampe/gepanzerter Heizkörper mit einer Temperatur von bis zu 350 °C |
| Abluftsystem | Niedrigvakuumpumpensatz + Hochvakuumpumpensatz + Kryopumpe/Polycold |
| Vakuumkontrolle | Vakuumregler mit Panning- und Pirani-Vakuummessgeräten |
| Beschichtungssystem | Elektronenkanone, sauerstofffreier Kupfertiegel, Impedanzverdampfungsquelle, RF/Kaufman/Hall-Ionenquelle |
| Inflationssystem | MFC- oder APC-Automatikdruckregler |
| Film-Dickenkontrolle | Kristallgesteuerte oder lichtgesteuerte Überwachung |
| Steuerungssystem | PC + SPS-integrierte Automatisierung |
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