| Endvakuum | Besser als 8×10⁻⁴ Pa (leer, trocken, Reinraum) |
| Pumpzeit | Von Atmosphäre bis 5×10⁻² Pa ≤ 6 Minuten (leer, trocken, Reinraum) |
| Diffusionspumpe | KT-800 Konvex-Hohlraum-Hochvakuum-Öldiffusionspumpe, Saugvermögen 32000L/S, Edelstahlpumpenkern mit hohem Saugvermögen und geringer Ölrücklaufquote; ausgestattet mit unabhängiger Anti-Ölrücklauf-Kaltfalle (2 Sätze) |
| Widerstandsheizung | Widerstandsdrahtheizung für Diffusionspumpe, einfach zu befestigen und zu warten (2 Sätze) |
| Roots-Pumpe | ZJP-1200 Roots-Pumpe mit einem Saugvermögen von 1200L/S; Leistung: 7,5KW; geringe Vibration, hoher Vakuumsgrad, stabile Leistung und langlebige Qualität; ausgestattet mit Frequenzumrichter zur Erhöhung des Saugvermögens (1 Satz) |
| Schieberventilpumpe | H-150 Schieberventilpumpe |
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