| Grado di vuoto ultimo | Migliore di 8×10−4Pa (senza carico, ambiente asciutto e pulito) |
| Tempo di pompaggio | Dall'atmosfera a 5×10−2Pa ≤ 6 minuti (senza carico, ambiente asciutto e pulito) |
| Pompa di diffusione | KT-800 pompa di diffusione dell'olio ad alto vuoto con cavità convessa, velocità di pompaggio 32000L/S, nucleo di pompa in acciaio inossidabile con velocità di pompaggio ad alto vuoto e bassa velocità di ritorno dell'olio;dotato di una trappola a freddo di ritorno anti-olio indipendente (2 serie) |
| Scaldaia resistente | Caldaie a filo resistivo per pompe di diffusione, progettate per un facile fissaggio e manutenzione (2 serie) |
| Pompa delle radici | Pompa radicale ZJP-1200 con velocità di pompaggio di 1200L/S; potenza: 7,5KW; bassa vibrazione, alto grado di vuoto, prestazioni stabili e qualità durevole;dotato di convertitore di frequenza per aumentare la velocità di pompaggio (1 serie) |
| Pompa di valvola a scorrere | Pompa a valvola a scorrere H-150 |
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