| 究極の真空度 | 8×10−4Pa以上 (負荷なし,乾燥した,クリーンルーム) |
| ポンプ 時間 | 大気から5×10−2Pa ≤6分 (負荷なし,乾燥,クリーンルーム) |
| 拡散ポンプ | KT-800 凸孔型高真空油拡散ポンプ,ポンプ速度32000L/S,高真空ポンプ速度と低油回帰率を持つ不?? 鋼ポンプコア.独立した反オイル回帰冷却キャプチャ (2セット) |
| 抵抗式ヒーター | 拡散ポンプ用耐電線ヒーター,固定・保守を容易にするために設計された (2セット) |
| 根ポンプ | ZJP-1200 ルーツポンプ 1200L/S のポンプ速度; 電力: 7.5KW; 低振動,高真空度,安定した性能と耐久性ポンプ速度を増加させる周波数変換器で装備されている (1セット) |
| スライドバルブポンプ | H-150 スライドバルブポンプ |