| Lion-1000EL | Lion-1200EL | Lion-1400EL | Lion-1800EL | Lion-2200EL | カスタマイズ可能 | 真空チャンバーサイズ(MM) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| D1000×H1200 | D1200×H1500 | D1400×H1800 | D1800×H2000 | D2200×H2400 | カスタマイズ | 製品仕様 |
| 拡散ポンプ/分子ポンプ + ルーツポンプ + ロータリーポンプ + ホールディングポンプ + クライオポンプ(オプション) | カスタマイズ | 製品仕様 | ||||
| 10KW | 15KW | 20KW | カスタマイズ | 40KW | カスタマイズ | 製品仕様 |
| 20セット | 26セット | 36セット | 52セット | 68セット | カスタマイズ | 製品仕様 |
| 5KW | 10KW | 10KW | 15KW | 20KW | カスタマイズ | 製品仕様 |
| PLC+HMIフルオート + リモートコントロールシステム(オプション) | カスタマイズ | 製品仕様 | ||||
| 5×10⁻⁴ pa | カスタマイズ | カスタマイズ | カスタマイズ | カスタマイズ | カスタマイズ | 製品仕様 |
| 30.6KW | 37.5KW | 58.5KW | 96KW | 125KW | カスタマイズ | 製品仕様 |
| サイクルあたり6~10分(コーティング膜層数と製品要件による) | カスタマイズ | 製品仕様 | ||||
| 1セット 20GP | 1セット 40GP | 1セット 40GP | 1セット 40HQ | カスタマイズ | カスタマイズ | 製品仕様 |
| 5日(エンジニア1名) | 7日(エンジニア1名) | 7日(エンジニア1名) | 7日(エンジニア2名) | カスタマイズ | カスタマイズ | 製品仕様 |