| 최후 진공 정도 | 8×10−4Pa 이상 (부하 없이, 건조하고 깨끗한 방) |
| 펌핑 시간 | 대기에서 5×10−2Pa ≤ 6분 (부하 없이, 건조하고 깨끗한 방) |
| 디퓨전 펌프 | KT-800 웅덩이 높은 진공 오일 확산 펌프, 펌프 속도 32000L/S, 고 진공 펌프 속도와 낮은 오일 반환률을 가진 스테인리스 스틸 펌프 코어독립적인 반유 회전 냉각장치 (2개 세트) |
| 레지스티브 히터 | 디프루션 펌프용 저항력 있는 와이어 히터, 고정 및 유지보수를 용이하게 하기 위해 설계된 것 (2개 세트) |
| 뿌리 펌프 | ZJP-1200 뿌리 펌프 펌프 속도는 1200L/S, 전력: 7.5KW, 낮은 진동, 높은 진공도, 안정적인 성능과 내구성펌프 속도를 높이기 위한 주파수 변환기로 장착된 (1 세트) |
| 슬라이드 밸브 펌프 | H-150 슬라이드 밸브 펌프 |