| Grau máximo de vácuo | Melhor que 8×10−4Pa (sem carga, sala seca e limpa) |
| Tempo de bombeamento | A partir da atmosfera até 5×10−2Pa ≤ 6 minutos (sem carga, sala seca e limpa) |
| Bomba de difusão | Bomba de difusão de óleo de alto vácuo de cavidade convexa KT-800, velocidade de bombeamento 32000L/S, núcleo de bomba de aço inoxidável com alta velocidade de bombeamento de vácuo e baixa taxa de retorno de óleo;equipado com uma armadilha de frio de retorno anti-óleo independente (2 conjuntos) |
| Aquecedor resistivo | Caldeiras de arame resistivo para bombas de difusão, concebidas para fácil fixação e manutenção (2 conjuntos) |
| Bomba de raízes | Bomba de raízes ZJP-1200 com velocidade de bombeamento de 1200L/S; potência: 7,5KW; baixa vibração, alto grau de vácuo, desempenho estável e qualidade durável;equipado com conversor de frequência para aumentar a velocidade de bombeamento (1 conjunto) |
| Bomba de válvula de deslizamento | Bomba de válvula de deslizamento H-150 |
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