| ระบบติดตั้ง | กรอบร่มหมุนที่มีการจัดตั้งแบบเดียวหรือแบ่ง |
| ระบบทําความร้อน | แหล่งไฟฮาโลเจน/เครื่องทําความร้อนแบบป้องกันด้วยอุปกรณ์ที่มีอุณหภูมิสูงถึง 350 °C |
| ระบบไอออก | ชุดปั๊มระบายความว่างต่ํา + ชุดปั๊มระบายความว่างสูง + ปั๊มไครโอเจน / โพลิกอลด์ |
| การควบคุมความว่าง | เครื่องควบคุมความว่างด้วยเครื่องวัดความว่าง Panning และ Pirani |
| ระบบเคลือบ | ปืนอิเล็กตรอน เครื่องบดทองแดงไร้ออกซิเจน แหล่งระเหยอิเมพานซ์ แหล่งไอออนประเภท RF/Kaufman/Hall |
| ระบบอัตราเฟ้อ | เครื่องควบคุมความดันอัตโนมัติ MFC หรือ APC |
| การควบคุมความหนาของแผ่น | การติดตามที่ควบคุมด้วยกระจกหรือควบคุมด้วยแสง |
| ระบบควบคุม | PC + PLC อัตโนมัติบูรณาการ |
ติดต่อเราตลอดเวลา