| モデル | VPD 1616 S | VPD 1618 S | VPD 1420 S |
|---|---|---|---|
| サイズ | 1600×700×1600mm | 1600×700×1800ミリ | 1400×620×2000ミリ |
| 材料 | SUS304 ステンレス鋼または炭素鋼 | ||
| バキュームシステム | 拡散ポンプ + 根ポンプ + メカニカルポンプ (3.0×10)-4パ) | ||
| 作業サイクル | 公開回転周波数制御: 1分間に0~20回転 | ||
| 処理能力 | 輸入されたMF電源 | ||
| 冷却システム | POLY 冷却装置 (130°C以下) | ||
| 制御システム | PLCとタッチスクリーン | ||
| コメント | すべては顧客の要求に応じて設計することができます | ||