| 모델 | VPD 1616 S | VPD 1618 S | VPD 1420 S |
|---|---|---|---|
| 차원 | 1600×700×1600mm | 1600×700×1800mm | 1400×620×2000mm |
| 소재 | SUS304 스테인리스 스틸 또는 탄소 스틸 | ||
| 진공 시스템 | 유전 펌프 + 뿌리 펌프 + 기계 펌프 (3.0×10)-4(Pa) | ||
| 작업 사이클 | 일반 회전 주파수 제어: 1분당 0~20 회전 | ||
| 프로세스 힘 | 수입 MF 전원 공급 장치 | ||
| 냉각 시스템 | POLY 냉각 장치 (130°C 이하) | ||
| 제어 시스템 | PLC와 하나의 터치 스크린 | ||
| 언급 | 모두 고객의 요청에 따라 설계 될 수 있습니다 | ||