| バキューム室 | φ630×H720mm | 熱する方法 | 上,横,下 (オプション) |
| 高真空システム | 分子ポンプ,拡散ポンプ,冷凍ポンプ (オプション) | 低真空システム | ドライポンプ,ダイレクトポンプ,ルーツポンプ,ローータリーバーンポンプ (オプション) |
| 制御システム | 産業用コンピュータ タッチスクリーン 完全自動制御 | 水晶フィルム厚みモニター | インフィコンXTC-3 SQC310 上海MXC-3B |
| イオン源 | RFイオン源,ホールイオン源,カウフマンイオン源,空洞カソードイオン源 (オプション) | 作業部品の回転 | 傘の作業部品ホルダー,ローラー作業部品ホルダー (オプション) |
| 電子銃 | シングル,ダブル,マルチポジション (オプション) | クリオジェニックユニット | 複数のサプライヤー (オプション) |
| 探査機システム | シングル,6点,12点回転センサー (オプション) | 究極 の 圧力 | ≤8.0×10−5Pa (通常の温度でのクリーン真空室) |
| 蒸気バリアシステム | ユニットブロック,二ポジションブロック,多ポジションローータリーブロック (オプション) | 真空圧を維持する | 高弁を閉じて1時間後に ≤9×10−2Pa |
| 必要な電源 | 三相電源 380V 50HZ | 水圧 必要 | 0.3-0.4Mpa |
| 機器の重量 | 2T-3T | 必要な空気圧 | 0.6-0.8Mpa |