| Cámara de vacío | φ630×H720mm | Método de calentamiento | Superior, lateral, inferior (opcional) |
| Sistema de alto vacío | Bomba molecular, bomba de difusión, bomba criogénica (opcional) | Sistema de bajo vacío | Bomba seca, bomba directa, bomba Roots, bomba de paletas rotativas (opcional) |
| Sistema de control | Control completamente automático de la pantalla táctil del ordenador industrial | Monitor de espesor de película de cristal | Inficon XTC-3, SQC310, Shanghái MXC-3B |
| Fuente de iones | Fuente de iones de RF, fuente de iones Hall, fuente de iones Kaufman, fuente de iones de cátodo hueco (opcional) | Rotación de la pieza de trabajo | Soporte para pieza de trabajo tipo paraguas, soporte para pieza de trabajo con rodillo (opcional) |
| Pistola de electrones | Sencillo, doble, multiposición (opcional) | Unidad criogénica | Múltiples proveedores (opcional) |
| Sistema de sonda | Sensor giratorio único, de 6 puntos y de 12 puntos (opcional) | Presión máxima | ≤8,0×10⁻⁵Pa (Limpie la cámara de vacío a temperatura normal) |
| Sistema de barrera de vapor | Bloque unitario, bloque de dos posiciones, bloque giratorio multiposición (opcional) | Mantenimiento de la presión de vacío | ≤9×10⁻²Pa después de 1 hora con la válvula alta cerrada |
| Fuente de alimentación requerida | Electricidad Trifásica, 380V, 50HZ | Presión de agua requerida | 0,3-0,4 MPa |
| Peso del equipo | 2T-3T | Presión de aire requerida | 0,6-0,8 MPa |
Contacta con nosotros en cualquier momento