| 진공 챔버 | φ630×H720mm | 가열 방식 | 상단, 측면, 하단 (선택 사항) |
| 고진공 시스템 | 분자 펌프, 확산 펌프, 극저온 펌프 (선택 사항) | 저진공 시스템 | 건식 펌프, 직접 펌프, 루츠 펌프, 로터리 베인 펌프 (선택 사항) |
| 제어 시스템 | 산업용 컴퓨터 터치 스크린 완전 자동 제어 | 결정 박막 두께 모니터 | Inficon XTC-3, SQC310, 상하이 MXC-3B |
| 이온 소스 | RF 이온 소스, 홀 이온 소스, 카우프만 이온 소스, 할로우 캐소드 이온 소스 (선택 사항) | 작업물 회전 | 우산형 작업물 홀더, 롤러 작업물 홀더 (선택 사항) |
| 전자총 | 단일, 이중, 다중 위치 (선택 사항) | 극저온 장치 | 다중 공급 업체 (선택 사항) |
| 프로브 시스템 | 단일, 6점 및 12점 회전 센서 (선택 사항) | 최종 압력 | ≤8.0×10⁻⁵Pa (상온의 깨끗한 진공 챔버) |
| 증기 차단 시스템 | 유닛 블록, 2단 블록, 다단 회전 블록 (선택 사항) | 진공 압력 유지 | 고압 밸브 닫힘 후 1시간 동안 ≤9×10⁻²Pa |
| 필요 전원 공급 장치 | 삼상 전기, 380V, 50HZ | 필요 수압 | 0.3-0.4Mpa |
| 장비 무게 | 2T-3T | 필요 공기압 | 0.6-0.8Mpa |