| ห้องสุญญากาศ | φ630×H720mm | วิธีการให้ความร้อน | ด้านบน, ด้านข้าง, ด้านล่าง (อุปกรณ์เสริม) |
| ระบบสุญญากาศสูง | ปั๊มโมเลกุล, ปั๊มแพร่, ปั๊มไครโอ (อุปกรณ์เสริม) | ระบบสุญญากาศต่ำ | ปั๊มแห้ง, ปั๊มตรง, ปั๊มรูทส์, ปั๊มโรตารี่แวน (อุปกรณ์เสริม) |
| ระบบควบคุม | คอมพิวเตอร์อุตสาหกรรม หน้าจอสัมผัส ควบคุมอัตโนมัติเต็มรูปแบบ | เครื่องวัดความหนาฟิล์มคริสตัล | Inficon XTC-3, SQC310, Shanghai MXC-3B |
| แหล่งกำเนิดไอออน | แหล่งกำเนิดไอออน RF, แหล่งกำเนิดไอออนฮอลล์, แหล่งกำเนิดไอออนคอฟแมน, แหล่งกำเนิดไอออนแคโทดกลวง (อุปกรณ์เสริม) | การหมุนชิ้นงาน | ที่จับชิ้นงานแบบร่ม, ที่จับชิ้นงานแบบลูกกลิ้ง (อุปกรณ์เสริม) |
| ปืนอิเล็กตรอน | ตำแหน่งเดียว, สองตำแหน่ง, หลายตำแหน่ง (อุปกรณ์เสริม) | หน่วยทำความเย็น | ผู้จำหน่ายหลายราย (อุปกรณ์เสริม) |
| ระบบโพรบ | เซ็นเซอร์หมุนแบบจุดเดียว, 6 จุด และ 12 จุด (อุปกรณ์เสริม) | แรงดันสุญญากาศสูงสุด | ≤8.0×10⁻⁵Pa (ห้องสุญญากาศสะอาดที่อุณหภูมิปกติ) |
| ระบบกั้นไอระเหย | บล็อกยูนิต, บล็อกสองตำแหน่ง, บล็อกหมุนหลายตำแหน่ง (อุปกรณ์เสริม) | การรักษาแรงดันสุญญากาศ | ≤9×10⁻²Pa หลังจาก 1 ชั่วโมงเมื่อปิดวาล์วสูง |
| แหล่งจ่ายไฟที่ต้องการ | ไฟฟ้าสามเฟส, 380V, 50HZ | แรงดันน้ำที่ต้องการ | 0.3-0.4Mpa |
| น้ำหนักอุปกรณ์ | 2T-3T | แรงดันอากาศที่ต้องการ | 0.6-0.8Mpa |
ติดต่อเราตลอดเวลา