| Buồng chân không | φ630×H720mm | Phương pháp gia nhiệt | Trên, Bên, Dưới (Tùy chọn) |
| Hệ thống chân không cao | Bơm phân tử, Bơm khuếch tán, Bơm lạnh (Tùy chọn) | Hệ thống chân không thấp | Bơm khô, Bơm trực tiếp, Bơm Roots, Bơm cánh gạt quay (Tùy chọn) |
| Hệ thống điều khiển | Máy tính công nghiệp Màn hình cảm ứng Điều khiển hoàn toàn tự động | Thiết bị đo độ dày màng tinh thể | Inficon XTC-3, SQC310, Thượng Hải MXC-3B |
| Nguồn ion | Nguồn ion RF, Nguồn ion Hall, Nguồn ion Kaufman, Nguồn ion cathode rỗng (Tùy chọn) | Quay phôi | Giá đỡ phôi dạng ô, Giá đỡ phôi dạng con lăn (Tùy chọn) |
| Súng điện tử | Đơn, Đôi, Đa vị trí (Tùy chọn) | Bộ làm lạnh | Nhiều nhà cung cấp (Tùy chọn) |
| Hệ thống đầu dò | Cảm biến quay đơn, 6 điểm và 12 điểm (Tùy chọn) | Áp suất cuối cùng | ≤8.0×10⁻⁵Pa (Buồng chân không sạch ở nhiệt độ thường) |
| Hệ thống rào cản hơi | Khối đơn vị, Khối hai vị trí, Khối quay đa vị trí (Tùy chọn) | Duy trì áp suất chân không | ≤9×10⁻²Pa sau 1 giờ với van cao đóng |
| Nguồn điện yêu cầu | Điện ba pha, 380V, 50HZ | Áp suất nước yêu cầu | 0.3-0.4Mpa |
| Trọng lượng thiết bị | 2T-3T | Áp suất khí yêu cầu | 0.6-0.8Mpa |
Liên hệ với chúng tôi bất cứ lúc nào