| Komora próżniowa | φ630×H720 mm | Metoda podgrzewania | Górna, boczna, dolna (nieobowiązkowa) |
| System wysokiej próżni | Pompa molekularna, pompa dyfuzyjna, pompa kriogeniczna (nieobowiązkowa) | System niskiej próżni | Pompy suche, bezpośrednie, korzeniowe, obrotowe (nieobowiązkowe) |
| System sterowania | Komputer przemysłowy z ekranem dotykowym w pełni automatyczny | Monitor grubości folii kryształowej | Inficon XTC-3, SQC310, Shanghai MXC-3B |
| Źródło jonowe | Źródło jonów RF, Źródło jonów Hall, Źródło jonów Kaufmana, Źródło jonów katodowych (opcjonalnie) | Obrót obróbki | Podkładki do parasoli, podkładki do rolków (nieobowiązkowe) |
| Elektrowa broń | Jednorazowa, podwójna, wielopozycyjna (nieobowiązkowa) | Jednostka kriogeniczna | Wielu dostawców (nieobowiązkowe) |
| System sondy | Jednorazowy, 6-punktowy i 12-punktowy czujnik obrotowy (nieobowiązkowy) | Największa presja | ≤ 8,0×10−5Pa (czysta komora próżniowa w temperaturze normalnej) |
| System bariery pary | Blok jednostkowy, blok dwupozycyjny, blok rotacyjny wielopozycyjny (nieobowiązkowy) | Utrzymanie ciśnienia próżni | ≤ 9×10−2Pa po 1 godzinie z zamkniętym zaworem wysokim |
| Wymagane zasilanie | Elektryczność trójfazowa, 380V, 50HZ | Potrzebne ciśnienie wody | 0.3-0.4Mpa |
| Waga sprzętu | 2T-3T | Wymagane ciśnienie powietrza | 00,6-0,8Mpa |
Skontaktuj się z nami w każdej chwili