| غرفة الفراغ | 630 × 720 مم | طريقة التسخين | علوي، جانبي، سفلي (اختياري) |
| نظام الفراغ العالي | مضخة جزيئية، مضخة انتشار، مضخة تبريد (اختياري) | نظام الفراغ المنخفض | مضخة جافة، مضخة مباشرة، مضخة جذور، مضخة دوارة (اختياري) |
| نظام التحكم | شاشة لمس كمبيوتر صناعي تحكم آلي بالكامل | مراقب سمك طبقة الكريستال | Inficon XTC-3, SQC310, Shanghai MXC-3B |
| مصدر أيوني | مصدر أيوني RF، مصدر أيوني هول، مصدر أيوني كوفمان، مصدر أيوني تجويف مجوف (اختياري) | دوران قطعة العمل | حامل قطعة عمل مظلي، حامل قطعة عمل دوار (اختياري) |
| مسدس إلكتروني | موضع واحد، مزدوج، متعدد (اختياري) | وحدة التبريد | موردون متعددون (اختياري) |
| نظام المسبار | مستشعر دوار أحادي، 6 نقاط، 12 نقطة (اختياري) | الضغط النهائي | ≤8.0 × 10⁻⁵ باسكال (غرفة فراغ نظيفة في درجة حرارة عادية) |
| نظام حاجز البخار | كتلة وحدة، كتلة ثنائية الموضع، كتلة دوارة متعددة المواضع (اختياري) | الحفاظ على ضغط الفراغ | ≤9 × 10⁻² باسكال بعد ساعة واحدة مع إغلاق الصمام العالي |
| مصدر الطاقة المطلوب | كهرباء ثلاثية الطور، 380 فولت، 50 هرتز | ضغط الماء المطلوب | 0.3-0.4 ميجا باسكال |
| وزن المعدات | 2 طن - 3 طن | ضغط الهواء المطلوب | 0.6-0.8 ميجا باسكال |
در هر زمان با ما تماس بگیرید