| ライオン-2200EL | カスタマイズ可能 | 真空チャンバーサイズ(MM) | D1000×H1200 | D1200×H1500 | D1400×H1800 | D1800×H2000 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| D2200×H2400 | カスタマイズ | 蒸着電力 | 10KW | 15KW | 20KW | コーティング生産ライン |
| 40KW | カスタマイズ | 蒸着源 | 20セット | 26セット | 36セット | コーティング生産ライン |
| 68セット | カスタマイズ | 到達真空度 | 5.0×10⁻⁴pa | 5.0×10⁻⁴pa | 5.0×10⁻⁴pa | コーティング生産ライン |
| 5.0×10⁻⁴pa | 58.5KW | 58.5KW | 58.5KW | 58.5KW | 58.5KW | コーティング生産ライン |
| 125KW | カスタマイズ | 製品仕様 | 保証 | 1年 | タイプ | コーティング生産ライン |