Urządzenia do pokrycia próżniowego pvd z systemem sterowania PLC

Podstawowe komponenty:

System zasilania RF, zespół tarczy łukowej, system próżniowy, system zasilania i sterowania odchyleniem przedmiotu obrabianego. Złożoność techniczna jest większa niż w przypadku typu DC.

Zasada działania:

W komorze próżniowej pole elektryczne o wysokiej częstotliwości, wzbudzane przez zasilacz o częstotliwości radiowej, jonizuje gaz roboczy (taki jak azot lub argon), tworząc plazmę o dużej gęstości. Jednocześnie łuk elektryczny oddziałuje na materiał docelowy, powodując jego odparowanie. Atomy materiału tarczy są dalej jonizowane i aktywowane w środowisku plazmy, a ostatecznie osadzają się na powierzchni przedmiotu obrabianego pod wpływem ujemnego napięcia polaryzacji, tworząc warstwę o wysokiej wydajności.

• Wydajność plazmy jest doskonała:Wyładowanie o częstotliwości radiowej znacząco zwiększa gęstość i aktywność plazmy, przy szybkości jonizacji sięgającej od 80% do 95%.
• Jakość warstwy folii jest bardziej wyrafinowana:Jednorodność plazmy jest silna, parowanie materiału docelowego jest bardziej stabilne, defekty kropel są znacznie zmniejszone, a gładkość i gęstość powierzchni warstwy folii znacznie się poprawiają.
• Kontrolowana temperatura powlekania:Niskotemperaturowa charakterystyka wyładowań o częstotliwości radiowej umożliwia temperaturę osadzania przedmiotu obrabianego o 50 do 100 stopni Celsjusza niższą niż w przypadku typu DC, dzięki czemu nadaje się do bardziej wrażliwych na ciepło podłoży.
• Zakres kompatybilności materiałów docelowych jest szeroki:Jest kompatybilny z różnymi materiałami docelowymi, takimi jak czyste metale, stopy i ceramika, i może być stosowany do przygotowywania pojedynczych lub kompozytowych warstw folii, zapewniając dużą elastyczność procesu.

• Warstwa folii ma wyjątkową wszechstronną wydajność:ma wyższą twardość (HV2000 ~ 3500), większą odporność na zużycie i odporność na korozję oraz niższą chropowatość powierzchni, równoważąc funkcjonalność i dekorację.
• Wydajność osadzania jest zrównoważona wysoką jakością:Szybkość osadzania utrzymuje się na poziomie od 8 do 80 μm/h, czyli nieco mniej niż w przypadku typu DC, ale znacznie przewyższa prędkość rozpylania magnetronowego, osiągając równowagę „wysoka wydajność + wysoka jakość”.
• Szersze możliwości adaptacji podłoża:Funkcja osadzania w niskiej temperaturze może obsługiwać niektóre elementy wrażliwe na wysoką temperaturę, takie jak precyzyjne komponenty elektroniczne i cienkościenne części metalowe, rozszerzając scenariusze zastosowań.
• Dobra jednorodność warstwy folii:Plazma ma szeroki zakres pokrycia i może precyzyjnie dostosować się do skomplikowanych zakrzywionych powierzchni i małych części, zapewniając spójność całej powłoki.
• Silna stabilność procesu:Moc wyjściowa zasilacza RF jest stabilna, co zmniejsza defekty warstwy folii spowodowane niestabilnym łukiem, a stopień kwalifikacji produktów produkowanych masowo jest wyższy.

• Przemysł narzędzi precyzyjnych i form:Wysoce precyzyjne frezy, mikrowiertła, formy optyczne, formy wtryskowe itp., pokryte wysokiej jakości twardymi powłokami, takimi jak TiAlN i AlCrN, w celu zwiększenia dokładności obróbki i żywotności.
• Wysokiej klasy dekoracja i przemysł 3C:ramki do telefonów komórkowych, obudowy notebooków, wysokiej klasy biżuteria, części sprzętu luksusowych marek itp. Przygotuj warstwy folii dekoracyjnej o wysokim połysku, wolnej od cząstek (takich jak różowe złoto, szarość pistoletowa, czarna), o teksturze porównywalnej do wysokiej klasy galwanizacji.
• W przemyśle elektronicznym i półprzewodnikowym:Ramy przewodów chipów półprzewodnikowych, złącza elektroniczne, czujniki precyzyjne itp. są pokryte przewodzącymi, odpornymi na zużycie i korozją warstwami folii funkcjonalnej, aby zapewnić stabilność komponentów.
• Wysokiej klasy komponenty dla przemysłu lotniczego i samochodowego:Łopatki silników lotniczych, turbosprężarki samochodowe, wysokiej klasy łożyska itp. pokrywane są wysokowydajnymi powłokami odpornymi na wysokie temperatury i zmęczenie, odpowiednimi do ekstremalnych warunków pracy.
• W branży wyrobów medycznych:narzędzia chirurgiczne, wszczepialne wyroby medyczne (takie jak śruby ortopedyczne) itp. są powlekane biokompatybilnymi, odpornymi na zużycie i antykorozyjnymi powłokami w celu zwiększenia bezpieczeństwa i żywotności wyrobów.