Equipamento de revestimento a vácuo pvd com sistema de controlo PLC

Componentes principais:

Sistema de alimentação de energia RF, conjunto alvo de arco, sistema de vácuo, fonte de alimentação de polarização da peça e sistema de controle. A complexidade técnica é maior do que a do tipo DC.

Princípio de funcionamento:

 Em uma câmara de vácuo, o campo elétrico de alta frequência excitado pela fonte de alimentação de radiofrequência ioniza o gás de trabalho (como nitrogênio ou argônio) para formar plasma de alta densidade. Ao mesmo tempo, o arco elétrico atua sobre o material alvo, fazendo com que ele evapore. Os átomos do material alvo são ainda mais ionizados e ativados no ambiente de plasma e, eventualmente, depositados na superfície da peça sob a ação da tensão de polarização negativa para formar um filme de alto desempenho.

• Desempenho do plasma é superior: A descarga de radiofrequência aumenta significativamente a densidade e a atividade do plasma, com uma taxa de ionização de até 80% a 95%.
• A qualidade da camada de filme é mais refinada: A uniformidade do plasma é forte, a evaporação do material alvo é mais estável, os defeitos de gotículas são significativamente reduzidos e a suavidade e a densidade da superfície da camada de filme são significativamente melhoradas.
• Temperatura de revestimento controlável: A característica de baixa temperatura da descarga de radiofrequência permite que a temperatura de deposição da peça seja 50 a 100 graus Celsius mais baixa do que a do tipo DC, tornando-a adequada para mais substratos sensíveis ao calor.
• A faixa de compatibilidade do material alvo é ampla: É compatível com vários materiais alvo, como metais puros, ligas e cerâmicas, e pode ser usado para preparar camadas de filme únicas ou compostas, com forte flexibilidade de processo.

• A camada de filme tem um desempenho abrangente excepcional: possui maior dureza (HV2000~3500), maior resistência ao desgaste e à corrosão e menor rugosidade superficial, equilibrando funcionalidade e decoração.
• A eficiência de deposição é equilibrada com alta qualidade: A taxa de deposição é mantida em 8 a 80μm/h, que é ligeiramente inferior à do tipo DC, mas excede em muito a do sputtering por magnetron, alcançando um equilíbrio de "alta eficiência + alta qualidade".
• Maior adaptabilidade do substrato: O recurso de deposição em baixa temperatura pode lidar com algumas peças sensíveis a altas temperaturas, como componentes eletrônicos de precisão e peças metálicas de paredes finas, expandindo os cenários de aplicação.
• Boa uniformidade da camada de filme: O plasma tem uma ampla faixa de cobertura e pode se adaptar com precisão a superfícies curvas complexas e peças pequenas, garantindo a consistência do revestimento geral.
• Forte estabilidade do processo: A saída da fonte de alimentação RF é estável, reduzindo os defeitos da camada de filme causados por arcos instáveis, e a taxa de qualificação de produtos produzidos em massa é maior.

• Indústria de ferramentas e moldes de precisão: Fresas de alta precisão, micro brocas, moldes ópticos, moldes de injeção, etc., revestidos com revestimentos duros de alta qualidade, como TiAlN e AlCrN, para aumentar a precisão do processamento e a vida útil.
• Decoração de alta qualidade e indústria 3C: estruturas de telefones celulares, capas de notebooks, joias de alta qualidade, peças de hardware de marcas de luxo, etc. Prepare camadas de filme decorativas de alto brilho e sem partículas (como ouro rosa, cinza grafite, preto), com uma textura comparável à galvanoplastia de alta qualidade.
• Na indústria eletrônica e de semicondutores: Estruturas de chumbo de chips semicondutores, conectores eletrônicos, sensores de precisão, etc., são revestidos com camadas de filme funcionais condutoras, resistentes ao desgaste e à corrosão para garantir a estabilidade dos componentes.
• Componentes de alta qualidade para aeroespacial e automóveis: pás de motores de aeronaves, turbocompressores automotivos, rolamentos de alta qualidade, etc., são revestidos com revestimentos de alto desempenho que são resistentes a altas temperaturas e fadiga, adequados para condições de trabalho extremas.
• Na indústria de dispositivos médicos: instrumentos cirúrgicos, dispositivos médicos implantáveis (como parafusos ortopédicos), etc., são revestidos com filmes biocompatíveis, resistentes ao desgaste e anticorrosivos para aumentar a segurança e a vida útil dos dispositivos.