เครื่องเคลือบไอออนหลายวงจรความถี่วิทยุ pvd อุปกรณ์เคลือบระบายความว่างด้วยระบบควบคุม PLC

ส่วนประกอบหลัก:

ระบบจ่ายไฟ RF, ชุดประกอบเป้าหมายอาร์ค, ระบบสุญญากาศ, แหล่งจ่ายไฟไบแอสชิ้นงานและระบบควบคุม ความซับซ้อนทางเทคนิคสูงกว่าชนิด DC

หลักการทำงาน:

 ในห้องสุญญากาศ สนามไฟฟ้าความถี่สูงที่กระตุ้นโดยแหล่งจ่ายไฟความถี่วิทยุจะทำให้ก๊าซทำงาน (เช่น ไนโตรเจนหรืออาร์กอน) เป็นไอออนเพื่อสร้างพลาสมาความหนาแน่นสูง ในเวลาเดียวกัน อาร์คไฟฟ้าจะทำหน้าที่บนวัสดุเป้าหมาย ทำให้มันระเหย อะตอมของวัสดุเป้าหมายจะถูกไอออนและกระตุ้นเพิ่มเติมในสภาพแวดล้อมพลาสมา และในที่สุดจะสะสมบนพื้นผิวของชิ้นงานภายใต้การกระทำของแรงดันไบแอสลบเพื่อสร้างฟิล์มประสิทธิภาพสูง

• ประสิทธิภาพของพลาสมาเหนือกว่า: การปล่อยคลื่นความถี่วิทยุช่วยเพิ่มความหนาแน่นและกิจกรรมของพลาสมาอย่างมีนัยสำคัญ โดยมีอัตราการเกิดไอออนสูงถึง 80% ถึง 95%
• คุณภาพของชั้นฟิล์มมีความละเอียดมากขึ้น: ความสม่ำเสมอของพลาสมาแข็งแกร่ง การระเหยของวัสดุเป้าหมายมีความเสถียรมากขึ้น ข้อบกพร่องของหยดน้ำลดลงอย่างมาก และความเรียบและความหนาแน่นของพื้นผิวชั้นฟิล์มดีขึ้นอย่างมาก
• อุณหภูมิการเคลือบผิวที่ควบคุมได้: ลักษณะเฉพาะของอุณหภูมิต่ำของการปล่อยคลื่นความถี่วิทยุช่วยให้อุณหภูมิการสะสมของชิ้นงานต่ำกว่าชนิด DC 50 ถึง 100 องศาเซลเซียส ทำให้เหมาะสำหรับพื้นผิวที่ไวต่อความร้อนมากขึ้น
• ช่วงความเข้ากันได้ของวัสดุเป้าหมายกว้าง: เข้ากันได้กับวัสดุเป้าหมายต่างๆ เช่น โลหะบริสุทธิ์ โลหะผสม และเซรามิก และสามารถใช้เพื่อเตรียมชั้นฟิล์มเดี่ยวหรือคอมโพสิต พร้อมความยืดหยุ่นของกระบวนการที่แข็งแกร่ง

• ชั้นฟิล์มมีประสิทธิภาพโดยรวมที่โดดเด่น: มีความแข็งสูงกว่า (HV2000~3500) ทนทานต่อการสึกหรอและการกัดกร่อนได้ดีกว่า และมีความขรุขระของพื้นผิวที่ต่ำกว่า ทำให้เกิดความสมดุลระหว่างฟังก์ชันการทำงานและการตกแต่ง
• ประสิทธิภาพการสะสมมีความสมดุลกับคุณภาพสูง: อัตราการสะสมอยู่ที่ 8 ถึง 80μm/h ซึ่งต่ำกว่าชนิด DC เล็กน้อย แต่สูงกว่าการสปัตเตอร์แมกนีตรอนมาก ทำให้เกิดความสมดุลของ "ประสิทธิภาพสูง + คุณภาพสูง"
• การปรับตัวของพื้นผิวที่กว้างขึ้น: คุณสมบัติการสะสมที่อุณหภูมิต่ำสามารถจัดการกับชิ้นงานที่ไวต่ออุณหภูมิสูงบางชนิด เช่น ส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความแม่นยำและชิ้นส่วนโลหะผนังบาง ทำให้ขยายสถานการณ์การใช้งาน
• ความสม่ำเสมอที่ดีของชั้นฟิล์ม: พลาสมามีช่วงการครอบคลุมที่กว้างและสามารถปรับให้เข้ากับพื้นผิวโค้งที่ซับซ้อนและชิ้นส่วนขนาดเล็กได้อย่างแม่นยำ ทำให้มั่นใจได้ถึงความสอดคล้องกันของการเคลือบโดยรวม
• ความเสถียรของกระบวนการที่แข็งแกร่ง: เอาต์พุตของแหล่งจ่ายไฟ RF มีเสถียรภาพ ลดข้อบกพร่องของชั้นฟิล์มที่เกิดจากอาร์คที่ไม่เสถียร และอัตราการผ่านของผลิตภัณฑ์ที่ผลิตจำนวนมากสูงกว่า

• อุตสาหกรรมเครื่องมือและแม่พิมพ์ที่มีความแม่นยำ: มีดกัดที่มีความแม่นยำสูง ดอกสว่านขนาดเล็ก แม่พิมพ์ออปติคัล แม่พิมพ์ฉีด ฯลฯ เคลือบด้วยสารเคลือบแข็งระดับไฮเอนด์ เช่น TiAlN และ AlCrN เพื่อเพิ่มความแม่นยำในการประมวลผลและอายุการใช้งาน
• อุตสาหกรรมตกแต่งระดับไฮเอนด์และ 3C: กรอบโทรศัพท์มือถือ เคสแล็ปท็อป เครื่องประดับระดับไฮเอนด์ ชิ้นส่วนฮาร์ดแวร์แบรนด์หรู ฯลฯ เตรียมชั้นฟิล์มตกแต่งแบบมันเงาและไม่มีอนุภาค (เช่น โรสโกลด์ กันเกรย์ ดำ) พร้อมพื้นผิวที่เทียบเท่ากับการชุบด้วยไฟฟ้าแบบไฮเอนด์
• ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์: เฟรมนำชิปเซมิคอนดักเตอร์ ขั้วต่ออิเล็กทรอนิกส์ เซ็นเซอร์ที่มีความแม่นยำ ฯลฯ เคลือบด้วยชั้นฟิล์มนำไฟฟ้า ทนต่อการสึกหรอ และทนต่อการกัดกร่อน เพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรของส่วนประกอบ
• ส่วนประกอบระดับไฮเอนด์สำหรับอวกาศและยานยนต์: ใบพัดเครื่องยนต์อากาศยาน เทอร์โบชาร์จเจอร์รถยนต์ ตลับลูกปืนระดับไฮเอนด์ ฯลฯ เคลือบด้วยสารเคลือบประสิทธิภาพสูงที่ทนทานต่ออุณหภูมิสูงและความเมื่อยล้า เหมาะสำหรับสภาพการทำงานที่รุนแรง
• ในอุตสาหกรรมอุปกรณ์ทางการแพทย์: เครื่องมือผ่าตัด อุปกรณ์ทางการแพทย์ที่ฝังได้ (เช่น สกรูศัลยกรรมกระดูก) ฯลฯ เคลือบด้วยฟิล์มที่เข้ากันได้ทางชีวภาพ ทนต่อการสึกหรอ และป้องกันการกัดกร่อน เพื่อเพิ่มความปลอดภัยและอายุการใช้งานของอุปกรณ์