Equipo de revestimiento de vacío pvd con sistema de control PLC

Componentes básicos:

Sistema de alimentación de RF, ensamblaje de objetivo de arco, sistema de vacío, suministro de energía y sistema de control de sesgo de la pieza de trabajo.

Principio de trabajo:

En una cámara de vacío, el campo eléctrico de alta frecuencia excitado por la fuente de alimentación de radiofrecuencia ioniza el gas de trabajo (como el nitrógeno o el argón) para formar plasma de alta densidad.el arco eléctrico actúa sobre el material objetivoLos átomos del material objetivo se ionizan y se activan en el entorno plasmático.y finalmente depositar en la superficie de la pieza de trabajo bajo la acción de voltaje de sesgo negativo para formar una película de alto rendimiento.

• El rendimiento del plasma es superior:La descarga de radiofrecuencia mejora significativamente la densidad y la actividad del plasma, con una tasa de ionización de hasta el 80% al 95%.
• La calidad de la capa de película es más refinada:La uniformidad del plasma es fuerte, la evaporación del material objetivo es más estable, los defectos de gotas se reducen significativamente,y la suavidad y la densidad de la superficie de la capa de película mejoran significativamente.
• Temperatura de revestimiento controlable:La característica de baja temperatura de la descarga de radiofrecuencia permite que la temperatura de deposición de la pieza de trabajo sea de 50 a 100 grados centígrados más baja que la del tipo de CC,que lo hace adecuado para sustratos más sensibles al calor.
• El rango de compatibilidad del material objetivo es amplio:Es compatible con varios materiales objetivo, como metales puros, aleaciones y cerámicas, y se puede utilizar para preparar capas de película individuales o compuestas, con una gran flexibilidad de proceso.

• La capa de película tiene un rendimiento integral excepcional:Tiene una mayor dureza (HV2000~3500), una mayor resistencia al desgaste y a la corrosión, y una menor rugosidad superficial, funcionalidad de equilibrio y decoración.
• La eficiencia de deposición está equilibrada con una alta calidad:La velocidad de deposición se mantiene entre 8 y 80 μm/h, que es ligeramente inferior a la del tipo de CC, pero muy superior a la del pulverizado por magnetrones.lograr un equilibrio entre "alta eficiencia + alta calidad".
• Adaptabilidad más amplia del sustrato:La característica de deposición a baja temperatura puede manejar algunas piezas sensibles a altas temperaturas, como componentes electrónicos de precisión y piezas metálicas de paredes delgadas, expandiendo los escenarios de aplicación.
• Buena uniformidad de la capa de película:El plasma tiene un amplio rango de cobertura y puede adaptarse con precisión a superficies curvas complejas y piezas pequeñas, asegurando la consistencia del recubrimiento general.
• Estabilidad del proceso:La salida de la fuente de alimentación de RF es estable, reduciendo los defectos de la capa de película causados por el arco inestable, y la tasa de calificación de los productos producidos en masa es mayor.

• Industria de herramientas y moldes de precisión:Cortadores de fresado de alta precisión, micro taladros, moldes ópticos, moldes de inyección, etc., recubiertos con recubrimientos duros de alta gama como TiAlN y AlCrN para mejorar la precisión del procesamiento y la vida útil.
• Decoración de alta gama y industria 3C:los marcos de los teléfonos móviles, las carcasas de los portátiles, las joyas de alta gama, las piezas de hardware de marcas de lujo, etc. Preparar capas de película decorativa de alto brillo y libre de partículas (como oro rosa, gris pistola, negro),con una textura comparable a la del galvanizado de gama alta.
• En la industria electrónica y de semiconductores:Los marcos de plomo de los chips de semiconductores, los conectores electrónicos, los sensores de precisión, etc., están recubiertos con conductores,capas funcionales de película resistentes al desgaste y a la corrosión para garantizar la estabilidad de los componentes.
• Componentes de alta gama para la industria aeroespacial y automotriz:Las palas de los motores de los aviones, los turbocompresores de los automóviles, los rodamientos de gama alta, etc., están revestidos con recubrimientos de alto rendimiento resistentes a altas temperaturas y fatiga,adecuado para condiciones de trabajo extremas.
• En la industria de los dispositivos médicos:los instrumentos quirúrgicos, los dispositivos médicos implantables (como los tornillos ortopédicos), etc., estén recubiertos con biocompatibles,películas resistentes al desgaste y anticorrosivas para mejorar la seguridad y la vida útil de los dispositivos.