آلة تصفية الأيونات متعددة القوس بالوتيرة الراديوية مع نظام تحكم PLC

المكونات الأساسية:

نظام إمدادات الطاقة الراديوية ، تجميع الهدف القوس ، نظام الفراغ ، إمدادات الطاقة التحيز قطعة العمل ونظام التحكم. التعقيد الفني أعلى من نوع DC.

مبدأ العمل:

في غرفة فراغ، يحفز المجال الكهربائي عالي التردد من قبل مصدر الطاقة الترددي الراديوي الغاز العامل (مثل النيتروجين أو الأرجون) لتشكيل بلازما عالية الكثافة.القوس الكهربائي يعمل على المادة المستهدفة، مما يسبب تبخيرها. ذرات المادة المستهدفة تتأين وتنشط في بيئة البلازما،وفي النهاية ترسب على سطح القطعة تحت تأثير الجهد السلبي للتحيز لتشكيل فيلم عالي الأداء.

• أداء البلازما متفوقتفريغ الترددات الراديوية يزيد بشكل كبير من كثافة ونشاط البلازما ، مع معدل التأين يصل إلى 80٪ إلى 95٪.
• جودة طبقة الفيلم أكثر دقة:توحيد البلازما قوي، وتبخر المادة المستهدفة أكثر استقرارا، وتقلص عيوب قطرات بشكل كبير،وتحسن ناعمة وكثافة سطح طبقة الفيلم بشكل كبير.
• درجة حرارة الطلاء القابلة للسيطرة:خصائص انخفاض درجة حرارة تفريغ الترددات الراديوية تمكن درجة حرارة ترسب قطعة العمل من 50 إلى 100 درجة مئوية أقل من نوع DC ،مما يجعله مناسبًا للاستعمال في الركائز الأكثر حساسية للحرارة.
• نطاق تطابق المواد المستهدفة واسع:وهو متوافق مع مواد مختلفة مثل المعادن النقية والسبائك والسيراميك ، ويمكن استخدامه لإعداد طبقات فيلم واحدة أو مركبة ، مع مرونة عملية قوية.

• طبقة الفيلم لديها أداء شامل ممتاز:لديها صلابة أعلى (HV2000 ~ 3500) ، مقاومة ارتداء أقوى ومقاومة للتآكل ، وخامة سطح أقل ، وظيفة التوازن والديكور.
• كفاءة الترسب متوازنة مع جودة عالية:يتم الحفاظ على معدل ترسب من 8 إلى 80 ميكرومتر في الساعة، وهو أقل قليلاً من نوع DC ولكن يتجاوز بكثير معدل الرذاذ المغناطيسي.تحقيق التوازن بين "كفاءة عالية + جودة عالية".
• قابلية تكييف أوسع للقاعدة:يمكن لميزة ترسب درجة الحرارة المنخفضة التعامل مع بعض قطع العمل الحساسة لدرجات الحرارة العالية ، مثل المكونات الإلكترونية الدقيقة والأجزاء المعدنية ذات الجدران الرقيقة ، مما يوسع سيناريوهات التطبيق.
• توحيد جيد لطبقة الفيلم:البلازما لديها نطاق تغطية واسع ويمكن أن تتكيف بدقة مع الأسطح المنحنية المعقدة والأجزاء الصغيرة ، مما يضمن اتساق الطلاء الكلي.
• استقرار عملية قوي:إنتاج مصدر الطاقة اللاسلكي مستقر ، مما يقلل من عيوب طبقة الفيلم الناجمة عن قوس غير مستقر ، ومعدل التأهيل للمنتجات المنتجة بكميات أكبر.

• صناعة الأدوات الدقيقة والقوالب:قطع الطحن عالية الدقة ، وبرولات صغيرة ، والقوالب البصرية ، والقوالب الحقنية ، وما إلى ذلك ، مغلفة بطلاءات صلبة عالية الجودة مثل TiAlN و AlCrN لتعزيز دقة المعالجة وعمر الخدمة.
• الديكور الراقي والصناعة 3C:إطارات الهواتف المحمولة، وجلطات أجهزة الكمبيوتر المحمولة، والمجوهرات الفاخرة، وأجزاء الأجهزة ذات العلامات التجارية الفاخرة، وما إلى ذلك. إعداد طبقات من الأفلام الزخرفية عالية اللمعان وخالية من الجسيمات (مثل الذهب الوردي، الرمادي، الأسود).مع نسيج مقارن بالكهرباء الراقية.
• في صناعة الإلكترونيات وشرائح الموصلات:إطارات الرصاص في رقائق أشباه الموصلات، والمتصلات الإلكترونية، وأجهزة الاستشعار الدقيقة، وما إلى ذلك، مغلفة بالموصلات،طبقات فيلم وظيفية مقاومة للاستعمال ومقاومة للتآكل لضمان استقرار المكونات.
• مكونات عالية الجودة للطيران والسيارات:يتم طلاء شفرات محركات الطائرات، ومحركات التوربو للسيارات، والحاويات الراقية، وما إلى ذلك، بطلاءات عالية الأداء مقاومة لدرجات الحرارة العالية والإرهاق،مناسبة لظروف العمل القاسية.
• في صناعة الأجهزة الطبية:الأدوات الجراحية، والأجهزة الطبية القابلة لزرعها (مثل المسامير العظامية) ، وما إلى ذلك، مغلفة بالموافقة البيولوجية،الأفلام المقاومة للارتداء ومضادة للتآكل لتعزيز سلامة وعمر الخدمة للأجهزة.