मुख्य घटक:
आरएफ बिजली आपूर्ति प्रणाली, आर्क लक्ष्य असेंबली, वैक्यूम सिस्टम, वर्कपीस पूर्वाग्रह बिजली आपूर्ति और नियंत्रण प्रणाली। तकनीकी जटिलता डीसी प्रकार की तुलना में अधिक है।
कार्य करने का सिद्धांत:
एक वैक्यूम चैंबर में, रेडियो फ्रीक्वेंसी बिजली आपूर्ति द्वारा उत्तेजित उच्च-आवृत्ति विद्युत क्षेत्र, उच्च-घनत्व प्लाज्मा बनाने के लिए कार्यशील गैस (जैसे नाइट्रोजन या आर्गन) को आयनित करता है। साथ ही, इलेक्ट्रिक आर्क लक्ष्य सामग्री पर कार्य करता है, जिससे वह वाष्पित हो जाती है। लक्ष्य सामग्री के परमाणु प्लाज्मा वातावरण में आगे आयनित और सक्रिय होते हैं, और अंततः नकारात्मक पूर्वाग्रह वोल्टेज की क्रिया के तहत वर्कपीस की सतह पर जमा हो जाते हैं ताकि एक उच्च-प्रदर्शन फिल्म बन सके।
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