Máy bọc ion đa cung tần số vô tuyến pvd thiết bị lớp phủ chân không với hệ thống điều khiển PLC

Các thành phần chính:

Hệ thống cung cấp điện RF, lắp ráp mục tiêu cung cung cung, hệ thống chân không, hệ thống cung cấp điện và hệ thống điều khiển thiên vị mảnh.

Nguyên tắc hoạt động:

Trong buồng chân không, trường điện tần số cao được kích thích bởi nguồn điện tần số vô tuyến ion hóa khí làm việc (như nitơ hoặc argon) để tạo thành plasma mật độ cao.cung điện tác động đến vật liệu mục tiêuCác nguyên tử của vật liệu mục tiêu được ion hóa và kích hoạt thêm trong môi trường plasma,và cuối cùng lắng đọng trên bề mặt của mảnh làm việc dưới tác động của điện áp thiên vị âm để tạo thành một bộ phim hiệu suất cao.

• Hiệu suất plasma vượt trội:Việc xả tần số vô tuyến làm tăng đáng kể mật độ và hoạt động của plasma, với tỷ lệ ion hóa lên đến 80% đến 95%.
• Chất lượng của lớp phim được tinh chế hơn:Tính đồng nhất plasma là mạnh, sự bốc hơi của vật liệu mục tiêu ổn định hơn, các khiếm khuyết giọt giảm đáng kể,và độ mịn và mật độ của bề mặt lớp phim được cải thiện đáng kể.
• Nhiệt độ lớp phủ có thể điều khiển:Đặc điểm nhiệt độ thấp của xả tần số vô tuyến cho phép nhiệt độ lắng đọng của mảnh làm việc thấp hơn 50 đến 100 độ C so với loại DC,làm cho nó phù hợp với các chất nền nhạy cảm với nhiệt hơn.
• Phạm vi tương thích của vật liệu mục tiêu rộng:Nó tương thích với các vật liệu mục tiêu khác nhau như kim loại tinh khiết, hợp kim và gốm sứ, và có thể được sử dụng để chuẩn bị các lớp phim đơn hoặc tổng hợp, với sự linh hoạt quá trình mạnh mẽ.

• Lớp phim có hiệu suất toàn diện xuất sắc:Nó có độ cứng cao hơn (HV2000 ~ 3500), khả năng chống mòn và chống ăn mòn mạnh hơn, và độ thô bề mặt thấp hơn, chức năng cân bằng và trang trí.
• Hiệu quả lắng đọng được cân bằng với chất lượng cao:Tốc độ lắng đọng được duy trì ở mức từ 8 đến 80μm/h, thấp hơn một chút so với kiểu DC nhưng vượt xa so với kiểu phun magnetron,đạt được sự cân bằng giữa "hiệu quả cao + chất lượng cao".
• Khả năng thích nghi nền rộng hơn:Tính năng lắng đọng nhiệt độ thấp có thể xử lý một số mảnh làm việc nhạy cảm với nhiệt độ cao, chẳng hạn như các thành phần điện tử chính xác và các bộ phận kim loại tường mỏng, mở rộng các kịch bản ứng dụng.
• Sự đồng nhất tốt của lớp phim:Plasma có phạm vi phủ sóng rộng và có thể thích nghi chính xác với các bề mặt cong phức tạp và các bộ phận nhỏ, đảm bảo sự nhất quán của lớp phủ tổng thể.
• Sự ổn định quá trình mạnh mẽ:Lượng đầu ra của nguồn cung cấp điện RF ổn định, làm giảm các khiếm khuyết lớp phim do cung không ổn định, và tỷ lệ đủ điều kiện của các sản phẩm sản xuất hàng loạt cao hơn.

• Ngành công cụ và khuôn chính xác:Máy cắt mài chính xác cao, khoan vi mô, khuôn quang, khuôn tiêm, vv, được phủ lớp phủ cứng cao cấp như TiAlN và AlCrN để tăng độ chính xác xử lý và tuổi thọ.
• Thiết kế cao cấp và ngành công nghiệp 3C:khung điện thoại di động, vỏ máy tính xách tay, đồ trang sức cao cấp, các bộ phận phần cứng thương hiệu cao cấp, v.v. Chuẩn bị các lớp phim trang trí bóng cao, không có hạt (chẳng hạn như vàng hồng, màu xám súng, màu đen),với kết cấu tương đương với mạ điện cao cấp.
• Trong ngành điện tử và bán dẫn:Các khung dẫn chip bán dẫn, các đầu nối điện tử, cảm biến chính xác, vv được phủ với chất dẫn,lớp phim chức năng chống mòn và chống ăn mòn để đảm bảo sự ổn định của các thành phần.
• Các thành phần cao cấp cho hàng không vũ trụ và ô tô:Blades động cơ máy bay, bộ tăng áp ô tô, vòng bi cao cấp, v.v., được phủ lớp phủ hiệu suất cao, chịu được nhiệt độ cao và mệt mỏi,phù hợp với điều kiện làm việc cực đoan.
• Trong ngành công nghiệp thiết bị y tế:các dụng cụ phẫu thuật, các thiết bị y tế cấy ghép (như vít chỉnh hình), v.v., được phủ bằng chất tương thích sinh học,phim chống mòn và chống ăn mòn để tăng cường an toàn và tuổi thọ của các thiết bị.