Радиочастотное многодуговое ионное покрытие

Основные компоненты:

Система питания радиочастотного тока, сборка целей дуги, вакуумная система, система питания и управления отклонением от заготовки.

Принцип работы:

В вакуумной камере высокочастотное электрическое поле, возбуждаемое радиочастотным источником питания, ионизирует рабочий газ (например, азот или аргон), образуя высокоплотную плазму.электрическая дуга воздействует на целевой материалАтомы целевого материала ионизируются и активируются в плазменной среде.и в конечном итоге оседает на поверхности заготовки под действием отрицательного напряжения предвзятости для формирования высокопроизводительной пленки.

• Плазменная производительность превосходит:Радиочастотный разряд значительно повышает плотность и активность плазмы с скоростью ионизации до 80% до 95%.
• Качество пленки более утонченное:Однородность плазмы сильна, испарение целевого материала более стабильно, дефекты капель значительно уменьшаются,и гладкость и плотность поверхности слоя пленки значительно улучшаются.
• Контролируемая температура покрытия:Низкотемпературная характеристика радиочастотного разряда позволяет температуре отложения заготовки быть на 50-100 градусов Цельсия ниже, чем у типа постоянного тока,делая его подходящим для более теплочувствительных субстратов.
• Диапазон совместимости целевого материала широк:Он совместим с различными целевыми материалами, такими как чистые металлы, сплавы и керамика, и может быть использован для подготовки одиночных или композитных слоев пленки с большой гибкостью процесса.

• Склад пленки обладает выдающейся всеобъемлющей работоспособностью:имеет более высокую твердость (HV2000 ~ 3500), более высокую износостойкость и коррозионную стойкость, а также более низкую шероховатость поверхности, балансирующую функциональность и декорацию.
• Эффективность отложения сбалансирована высоким качеством:Скорость осаждения поддерживается на уровне от 8 до 80 мкм/ч, что немного ниже, чем у типа постоянного тока, но значительно превышает скорость магниторонного распыливания,достижение баланса "высокая эффективность + высокое качество".
• Более широкая адаптивность субстрата:Функция низкотемпературного осаждения может обрабатывать некоторые чувствительные к высокой температуре заготовки, такие как точные электронные компоненты и тонкостенные металлические детали, расширяя сценарии применения.
• Хорошая однородность слоя пленки:Плазма имеет широкий диапазон покрытия и может точно адаптироваться к сложным изогнутым поверхностям и небольшим частям, обеспечивая консистенцию общего покрытия.
• Сильная стабильность процесса:Выпуск частотного источника питания стабилен, что уменьшает дефекты пленочного слоя, вызванные нестабильной дугой, и уровень квалификации серийных продуктов выше.

• Промышленность высокоточных инструментов и форм:Высокоточные фрезерные резаки, микробурлы, оптические формы, впрыскивающие формы и т. д., покрытые высококачественными твердыми покрытиями, такими как TiAlN и AlCrN, для повышения точности обработки и срока службы.
• Высококлассная декорация и 3C промышленность:рамы для мобильных телефонов, оболочки для ноутбуков, ювелирные изделия высокого класса, детали для оборудования роскошных брендов и т. д. Подготовить высокоблестящие декоративные слои пленки без частиц (например, розовое золото, серый цвет, черный цвет),с текстурой, сопоставимой с высококачественной электропластировкой.
• В электронике и полупроводниковой промышленности:Рамы с проводником полупроводникового чипа, электронные соединители, точные датчики и т.д. покрыты проводящим,функциональные слои пленки, устойчивые к износу и коррозии, обеспечивающие устойчивость компонентов.
• Компоненты высокого класса для аэрокосмической и автомобильной промышленности:лопатки двигателей самолетов, автомобильные турбокомпрессоры, высокопроизводительные подшипники и т.д. покрыты высокопроизводительными покрытиями, устойчивыми к высоким температурам и усталости,подходящий для экстремальных условий работы.
• В промышленности медицинских изделий:хирургические инструменты, имплантируемые медицинские изделия (например, ортопедические винты) и т.д. покрыты биосовместимым материалом,износостойкие и антикоррозионные пленки для повышения безопасности и срока службы устройств.