Hochfrequenz-Multi-Arc-Ionenplattierungsmaschine PVD-Vakuum-Beschichtungsanlage mit SPS-Steuerung

Kernkomponenten:

HF-Stromversorgungssystem, Bogenzielmontage, Vakuumsystem, Werkstücksverzerrungs-Stromversorgung und Steuerungssystem.

Arbeitsprinzip:

In einer Vakuumkammer ionisiert das hochfrequente elektrische Feld, das durch die Radiofrequenzversorgung erregt wird, das Arbeitsgas (z. B. Stickstoff oder Argon) und bildet ein hochdichtes Plasma.der elektrische Bogen wirkt auf das ZielmaterialDie Atome des Zielmaterials werden weiter ionisiert und in der Plasmaumgebung aktiviert.und schließlich auf der Oberfläche des Werkstücks unter dem Einfluss einer negativen Verzerrungsspannung ablagern, um einen Hochleistungsfilm zu bilden.

• Plasma-Leistung ist überlegen:Die Frequenzentladung erhöht die Dichte und Aktivität des Plasmas erheblich, mit einer Ionisationsrate von bis zu 80% bis 95%.
• Die Qualität der Filmschicht ist raffinierter:Die Plasma-Einheitlichkeit ist stark, die Verdunstung des Zielmaterials stabiler, die Tröpfchenfehler deutlich reduziert.und die Glattheit und Dichte der Folienschichtoberfläche werden deutlich verbessert.
• Kontrollierbare Beschichtungstemperatur:Die niedrigtemperaturartige Funkfrequenzentladung ermöglicht es, die Ablagerungstemperatur des Werkstücks um 50 bis 100 °C niedriger zu halten als bei Gleichstrom.mit einer Breite von mehr als 20 mm,.
• Der Kompatibilitätsbereich der Zielmaterialien ist breit:Es ist mit verschiedenen Zielmaterialien wie reinen Metallen, Legierungen und Keramik kompatibel und kann zur Herstellung von Einzel- oder Verbundfilmschichten mit hoher Prozessflexibilität verwendet werden.

• Die Filmschicht hat eine hervorragende Gesamtleistung:Es hat eine höhere Härte (HV2000~3500), eine stärkere Verschleiß- und Korrosionsbeständigkeit sowie eine geringere Oberflächenrauheit, Ausgleichsfunktion und Dekoration.
• Die Depositionseffizienz wird mit hoher Qualität ausgeglichen:Die Ablagerungsgeschwindigkeit wird bei 8 bis 80 μm/h gehalten, was etwas niedriger ist als bei der Gleichspannung, aber weit über dem bei Magnetron-Sputtering liegt.Erreichung eines Gleichgewichts zwischen "hoher Effizienz + hoher Qualität".
• Weitere Anpassungsfähigkeit des Substrats:Die Niedertemperatur-Ablagerungsfunktion kann einige hochtemperaturempfindliche Werkstücke, wie präzise elektronische Komponenten und dünnwandige Metallteile, behandeln und die Anwendungsmöglichkeiten erweitern.
• Gute Einheitlichkeit der Filmschicht:Das Plasma verfügt über einen breiten Abdeckungsbereich und kann sich präzise an komplexe geschwungene Oberflächen und kleine Teile anpassen, wodurch die Konsistenz der Gesamtbeschichtung gewährleistet wird.
• Starke Prozessstabilität:Die Leistung der HF-Stromversorgung ist stabil und verringert die durch instabilen Bogen verursachten Filmschichtfehler, und die Qualifizierungsrate der in Serie hergestellten Produkte ist höher.

• Präzisionswerkzeuge und -formen:Hochpräzise Fräsmaschinen, Mikrobohrer, optische Formen, Spritzgussformen usw., mit hochwertigen harten Beschichtungen wie TiAlN und AlCrN beschichtet, um die Verarbeitungsgenauigkeit und die Lebensdauer zu erhöhen.
• Hochwertige Dekoration und 3C-Industrie:Handy-Rahmen, Notebook-Schalen, hochwertige Schmuckstücke, Luxus-Marken-Hardware-Teile usw. Bereiten Sie hochglänzende, partikelfreie Dekorationsfolien vor (z. B. Roségold, Pistolengrau, Schwarz),mit einer Textur, die mit hochwertiger Galvanisierung vergleichbar ist.
• In der Elektronik- und Halbleiterindustrie:Halbleiterchip-Leiterrahmen, elektronische Steckverbinder, Präzisionssensoren usw. sind mit leitfähigen,Verschleiß- und Korrosionsbeständige Funktionsfolien, um die Stabilität der Bauteile zu gewährleisten.
• High-End-Komponenten für Luft- und Raumfahrt und Automobile:Flugzeugmotorenblätter, Turbolader für Fahrzeuge, hochwertige Lager usw. sind mit hochleistungsfähigen Beschichtungen beschichtet, die hohen Temperaturen und Müdigkeit standhalten,für extreme Arbeitsbedingungen geeignet.
• In der Medizinprodukteindustrie:Chirurgische Instrumente, implantierbare medizinische Geräte (z. B. orthopädische Schrauben) usw. sind mit Biokompatibilität beschichtet,Verschleiß- und korrosionsbeständige Folien zur Verbesserung der Sicherheit und Lebensdauer der Geräte.